





| 프로젝트  | 내용  | 
| 제품 유형  | 6", 8", 12" 프레임 웨이퍼  | 
| 2D 검사 항목  | 외부 물질, 잔여 접착제, 입자, 스크래치, 균열, 오염, CP 편차, 과도한 면적 등  컷팅 채널 편차 및 칩아웃 | 
| 컷팅 경로 검사 항목  | 6", 8", 12" 프레임 카세트  | 
| 렌즈 및 해상도  | 2x(2.75㎛)/3.5x(1.57㎛)/  5x(1.1㎛)/7.5x(0.73㎛)/10x(0.55㎛) | 
| 정밀도  | 0.55μm/화소  | 
| 선택적 및 맞춤형  | INK 모듈, IR 모듈  | 







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