8인치 완전 자동 단면 리소그래피 기계 , China 8인치 완전 자동 단면 리소그래피 기계 Manufacturers, Suppliers, Factory

제품 설명

MDHS-AL8 8" 완전 자동 단면 리소그래피 머신

1. 작동 모드: 로딩 로봇이 A-B (재사용 가능) 웨이퍼 박스에서 웨이퍼를 사전 위치로 자동으로 로드합니다. 작업대는 카메라 위치 조정 웨이퍼 및 자동 회전 시스템을 통해 웨이퍼의 사전 정위를 달성합니다. 로딩 로봇은 사전 정위된 웨이퍼를 정렬 작업대로 옮깁니다. 컴퓨터 이미지 인식과 자동 정렬 시스템 조정을 통해 마스크와 웨이퍼의 그래픽 자동 정렬을 실현할 수 있습니다. 또한 그래픽을 정렬하지 않고도 하나의 노출을 완료할 수도 있습니다. 과노출 시스템으로 자동 노출 후, 언로딩 로봇이 웨이퍼를 C-D(재사용 가능한) 웨이퍼 박스에 자동으로 넣습니다.

2. 노출 영역: 160 × 160mm;
3. 노출 불균일도: ≤ 3%;
4. 노출 강도: 0~≥ 40mw/cm2 조절 가능 (광선 각도 2°);
5. 자외선 광선 각도: ≤ 3°;
6. 자외선 중심 파장: 365nm;
7. 자외선 광원 수명: ≥ 20000 시간;
8. 분리 능력: 0~≥ 1000um 조절 가능;
9. 정렬 정확도: ≤ ± 1.5 μ M;
10. 노광 정확도: 접촉 노광 ± 1 μ m. 근접 노광 분리 20 μ M 빔 각도 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. 노광 방법: 하드 접촉, 소프트 접촉 및 근접 노광;
12. 노광 모드: 일회성 노광 또는 오프셋 노광 중 선택 가능
13. 사전 위치 이미지 인식 및 자동 회전 시스템 (사전 위치 작업대 포함): 회전 각도 Q ≥ ± 180 °, 회전 정확도 Q ≤ 0.01 °;
14. 이미지 인식 및 자동 정렬 시스템 (UVW 정렬 작업대 포함): 정렬 범위 X Y ≥ ± 5mm, 회전 각도 Q ≥ ± 3 °, 현미경의 두 개의 렌즈는 두 개의 XYZ 전기 플랫폼에 의해 제어됩니다.
15. 마스크 크기: 5 " × 5 "와 7" × 7 ";
16. 웨이퍼 크기: 4 "와 6";
17. 상하 필름 박스 작업 스테이션: 듀얼 작업 스테이션;
18. 발 패드 에어백
19. 로딩 및 언로딩 듀얼 암 로봇 암: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. 웨이퍼 박스 내 웨이퍼 수: 고객의 웨이퍼 박스에 있는 웨이퍼 수에 따라 결정됨;
21. 포지셔닝 테이블 리프팅: Z ≥ ± 25mm;
22. 노광 타이밍: 0에서 999.9초까지 조정 가능;
23. 생산 리듬: >120개 per hour;
24. 전원: 단상 AC220V 50Hz, 소비전력 ≤ 3KW;
25. 청정 공기 압력: ≥ 0.4MPa;
26. 진공도: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. 크기: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. 중량: 약 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

이 기계는 LED 자외선 노광 헤드, 이미지 인식 및 자동 회전 시스템, 사전 위치 작업대, 그리고 그림과 같은 인식 및 자동 정렬 시스템, 정렬 작업대, 로딩 로봇, 언로딩 로봇, 랙, 전기 제어 장비로 구성되며, 예비 부품 등으로 이루어져 있습니다.

사양

1. 노광 헤드: 하나의 LED 자외선 노광 헤드 (365nm);
2. 이미지 인식 및 사전 정렬 작업대:
1) 1개의 카메라 (130만 화소)
2) 중앙 위치 고정장치
3) 1세트 회전 플랫폼 (서보 모터 사용)
4) 1세트 위치 시스템
3. 이미지 인식 및 자동 정렬 시스템:
1) 2개의 카메라 (500만 화소 고속 프레임률)
2) 2개의 렌즈 (4배 고해상도 렌즈)
3) 한 대의 산업용 컴퓨터
4) 하나의 컨트롤러 (PLC로 제어됨)
5) 하나의 정렬 플랫폼 (5상 스테퍼 모터 사용)
6) 운동 시스템 세트
7) 상부 플레이트 장치는 모터를 사용하여 업/다운 동작을 수행함
7) 소프트웨어는 최신 LabVIEW Professional Edition을 채택함
4. 로딩 및 언로딩 메카니컬 암:
1) X Y Z 자동 이동 메커니즘 세트
2) 듀얼 암 로봇 암 (로딩 및 언로딩 암)
5. 웨이퍼 박스 고정 메커니즘:
1) AB는 피드 필름 박스의 고정 위치를 지정함
2) CD는 절단 필름 상자의 고정 위치입니다
3) G는 NG 위치 필름 상자의 고정 위치입니다
6. 카메라 고정 플랫폼:
7. 두 세트의 Y.Z 전기 조절 메커니즘 (서보 모터 제어)
8. 랙 및 전기 제어 콘솔:
1) 1대의 산업용 컴퓨터
2) 한 세트의 PLC;
3) 한 세트의 솔레노이드 밸브 및 제어 시스템
4) 한 세트의 디지털 공압 계측기
5) 한 세트의 제어 콘솔
8. 예비 부속:
1) 기관지: 15 미터
2) 2개의 솔레노이드 밸브
3) 진공 펌프: 1 대
9. 기술 데이터:
1) 하나의 사용자 매뉴얼
2) 하나의 적합성 인증서
10. 추가 사항
장비 소프트웨어는 SECS 통신 프로토콜을 갖추어야 하며, 구매자는 구매자의 MES 시스템과 도킹할 수 있는 동적 라이브러리를 제공하며, 자동으로 제품 배치 번호, 작업 번호 및 작동 상태를 기록하고 업로드합니다. 동시에 마스크 플레이트 QR 코드를 식별하고, 이를 MES 시스템의 마스크 플레이트 QR 코드와 비교하며, 잘못된 마스크 플레이트가 선택되는 것을 방지하는 기능도 가지고 있습니다.

포장 및 배송