Lo scopo di questa procedura di prova è verificare le prestazioni della macchina per la pulizia al plasma sotto vuoto (SPV-50) e confrontare i risultati con i valori nominali. Questa procedura viene normalmente eseguita in fabbrica prima della spedizione e presso il cliente dopo l’installazione. Le prove e le misurazioni descritte nel presente documento verificano completamente il funzionamento della macchina e non sono necessarie ulteriori prove.


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