


Taille du galet |
galette de 4”~ 8” |
Épaisseur de la galette |
100~750 microns |
Type de galette |
Si, SiC, GaN, ou autres matériaux |
Type de film |
Film bleu, film UV Largeur : 230 ~ 300 mm Longueur : 100 m Épaisseur : 0,05 ~ 0,2 mm |
Anneau porte-galettes |
6”, 8” DISCO |
Méthode de chargement et de déchargement |
Placement et retrait manuels de la galette/anneau |
Précision de positionnement du film |
± 0,5 mm Plaques standards pour galettes de 6” et 8” |
Pompe à vide |
Minder-Hightech |
Contrôle antistatique |
Ventilateur de déionisation |
Unité de commande |
Basé sur le contrôle PLC, avec écran tactile de 10" |
Protection de sécurité |
Equipé d'une protection par rideau lumineux et d'un bouton d'arrêt d'urgence |
Tension d'alimentation |
Monophasé AC 220V, 16A |
Air comprimé |
0,45~0,6 MPa, débit 70 L/min |
Caisson de la machine |
Caisson métallique peint en plastique blanc |
Volume |
850 mm (largeur) * 1750 mm (profondeur) * 1970 mm (hauteur) |
POIDS À VIDE |
480kg |


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