modèle : MDQX-US2020
Utilisé pour le revêtement de précision dans les domaines de la recherche et du développement (R&D) et de la production en petites séries.
Les applications typiques comprennent les revêtements de résine photosensible sur divers matériaux de wafers et la création de couches fonctionnelles pour les procédés de dépôt de couches minces.


Nom |
Article |
Valeur |
Remarques |
Système de pulvérisation ultrasonore |
Dimensions |
90cm×65cm×75cm |
Longueur × largeur × hauteur |
Puissance d'atomisation ultrasonique |
10-30W |
Réglage fin automatique |
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Fréquence d'atomisation ultrasonique |
55-60kHz |
Suivi automatique de fréquence |
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Débit d'atomisation |
0,1-10 ml/min |
Dépend de la viscosité du liquide |
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Diamètre du spray |
10-20mm |
La spécification dépend de la hauteur de la buse et du débit d'alimentation |
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Viscosité maximale du liquide |
30cps |
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Taille des particules en suspension |
<20μm |
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Teneur en matières solides en suspension |
≤30% |
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Matériau de la buse |
Alliages de titane |
Résistant à la corrosion, amovible/remplaçable |
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Pression d'air numérique |
0,01-0,1MPa |
S'ajuste automatiquement en fonction du débit de la boue et de la viscosité |
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Température de fonctionnement (°C) |
-20-100℃ |
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Contrôle de la trajectoire du jet |
Axe de mouvement |
3 axes |
X, Y, Z |
Dimensions du trajet de pulvérisation |
200×200MM |
Compte tenu de la largeur d'atomisation, la surface réelle de pulvérisation peut être supérieure à cette valeur. |
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Précision dimensionnelle du jet |
≤0,1 mm |
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VITESSE MAXIMALE |
150 mm/s |
Réglable en temps réel. |
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Logiciel de commande programmable |
Oui, logiciel de création et de conversion pour PC inclus |
Les coordonnées peuvent être modifiées directement dans le Bloc-notes de Windows, et la conversion graphique est également prise en charge par les principaux logiciels de conception tels que SolidWorks, UG, ProE et CAD. |
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Système d'alimentation (pompe d'injection) |
Diamètre intérieur du tuyau |
0,3/0,5/0,6/0,8/1/1,2/2/3 mm |
Standard 2 mm |
Longueur du tuyau |
<0,5 m |
Économie maximale de coulis |
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Matériau du tuyau |
Tuyau en ptfe |
Matériau importé hautement transparent pour une observation facile du coulis |
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Matériau du connecteur |
acier inoxydable 316L |
Résistant à la corrosion |
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Plage de réglage du débit |
0,01-80 ml/min |
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Précision du réglage du débit |
≤±1.5% |
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Volume maximal de pulvérisation (par application) |
50ML |
Réglable de 0 à 50 ml |
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Système de chauffage |
Plage de température de chauffage |
Température ambiante - 150 °C |
500 W, avec protection thermique contre la surchauffe |
Plateforme d'adsorption sous vide |
Matériau de la plateforme d'adsorption |
Alliage d'aluminium |
Revêtement anodisé noir |
Dimensions de la plateforme d'adsorption |
265 mm x 265 mm |
Compte tenu de la zone chauffée, la surface maximale de pulvérisation est inférieure à cette valeur |
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Fonction de réglage de nivellement |
Oui |
Réglage assisté par logiciel + réglage manuel |
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Échelle XY |
Oui |
Acier inoxydable |
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Pompe à vide sans huile inclus par défaut en cadeau, peut être remplacé par un générateur sous vide |
Alimentation électrique |
220V,50HZ |
Nécessite une alimentation externe |
Puissance nominale |
160W |
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Vitesse de pompage |
20L/min |
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Pression ultime |
≥ 0,08 MPa |
Équivalent à 200 mbar |
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Bruit |
<50dB |
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Compresseur d'air (en option) |
Alimentation électrique |
220V,50HZ |
Nécessite une alimentation électrique externe |
Puissance |
550W |
Un générateur de vide est requis, dont la puissance estimée doit être d'au moins 1 kW. |
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Bruit |
≥70dB |
Il est recommandé de l'installer à l'extérieur. |
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Débit d'échappement |
40L/min |
Si un générateur de vide est utilisé, un débit de sortie de 80 L/min est recommandé. |
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Pression maximale |
0,7 MPa |
Varie en fonction de l'utilisation du gaz. |


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