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Ellipsomètre Spectroscopique

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Description du produit

Ellipsomètre Spectroscopique

L'ellipsomètre spectral permet d'effectuer rapidement des tests automatiques sur plusieurs points et de tester l'uniformité de l'échantillon en un seul clic. Le polariseur, l'analyseur et le compensateur du produit sont tous équipés de dispositifs de verrouillage de position haute précision à codage absolu dotés d'une fonction de compensation de la bande interdite, ce qui améliore la précision et la stabilité du système.
Adoptant une architecture à double fibre pour améliorer l'efficacité de collecte de la lumière, cet appareil permet de recueillir des spectres suffisants à partir de surfaces polies à l'acide gravées ou de faces pyramidales conventionnelles, afin de procéder aux essais et à l'analyse. Il dispose également de fonctions de base telles que la mise au point automatique, la sélection de l'intensité lumineuse et la compensation de phase.

Conçu pour une analyse de haute précision et haute efficacité des propriétés optiques des matériaux. Il peut mesurer automatiquement, rapidement et avec précision l'indice de réfraction, le coefficient d'extinction et l'épaisseur de film des matériaux. Il est adapté aux besoins de caractérisation de couches minces et de matériaux dans la recherche scientifique, les semi-conducteurs, les panneaux photovoltaïques, les revêtements optiques, les écrans et autres domaines.

Objet de mesure :

Revêtement optique : Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2, Pi.
Affichage : OLED (AIG3, PCBM, NPB, NPD...), électrodes (ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Photovoltaïque : Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Semiconductor : Photorésist, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Autres : OCD, matériaux 2-D, hétérojonction de Van der Waals et dispositifs...

Fonction du produit :

Mesure de l'indice de réfraction : Mesurer précisément l'indice de réfraction des matériaux à différentes longueurs d'onde, fournissant des données clés pour la conception optique et la recherche sur les matériaux.
Mesure du coefficient d'extinction : Analyser les caractéristiques d'absorption lumineuse des matériaux afin d'aider à optimiser les performances des dispositifs optoélectroniques.
Mesure de l'épaisseur du film : prend en charge la détection de l'épaisseur des films de niveau nanomètre à micron avec une haute résolution et une bonne reproductibilité.
Test automatique rapide : avec une fonction de balayage automatique multi-points, la vitesse de mesure atteint 1 seconde/point, ce qui améliore considérablement l'efficacité des tests en série.

Principe de mesure :

Le principe de la mesure d'ellipsométrie est basé sur le changement de l'état de polarisation de la réflexion optique avant et après la surface du milieu, afin d'obtenir des informations sur les propriétés optiques et la structure.
Le champ électrique du faisceau incident est décomposé dans deux directions verticales, avec la lumière p parallèle à la vibration de la lumière
onde, la lumière est perpendiculaire à la vibration de l'onde lumineuse. Les amplitudes et phases des lumières p et S changent lorsque le faisceau est réfléchi par la surface du milieu.
La corrélation entre les caractéristiques physiques du milieu et le changement d'état de polarisation.

Environnement de travail de l'instrument :

Alimentation : 220VAC+10%
Température ambiante : température environnementale (10-30)℃
Humidité relative : (20-80)% RH

Spectromètre :

Unité de détection : détecteur CCD rétro-éclairé rapide à 2048 pixels
Paramètres détaillés :
1. plage spectrale supérieure à 350nm-1000nm
2. lumière parasite <0,02%@400nm
3. rapport signal/bruit 4800
4. plage dynamique 50000:1
5. chemin optique holographique
6. résolution numérique 16 bits
7. vitesse de lecture >400kHz
8. vitesse de transmission de données 600MB/s
9. temps d'intégration minimum/étape d'ajustement 6 us/1us
10. retard du déclencheur externe 95ns+/-20ns
11. interface ordinateur USB4.1C/2.0
12. système d'exploitation Win 7/8/Win 10
réponse spectrale moyenne (QE) dans le domaine UV pour CCD à rétro-éclairage, QE moyen ≥75% Système de refroidissement micro refroidissement par TE, température après refroidissement est de 30°C
inférieure à la température ambiante.
Méthode d'intégration réglage automatique du temps d'intégration contrôlé par logiciel, permet d'atteindre le meilleur

Système de source lumineuse :

Source de lumière : lampe halogène avec ampoule en quartz, plage de longueur d'onde 350nm-2000nm, sans décroissance, durée de vie supérieure à 50000 heures.
Alimentation électrique indépendante pour lampe halogène, tension 4.9Vd

Étage avec fonction d'autofocus :

Déplacez l'échantillon vers la meilleure position de mesure avec la fonction d'autofocus. Course : 100mm
Précision : 0,0005 mm. Limitation de position avec limites positives et négatives et capteur de position zéro ; la position de départ, la position finale et l'intervalle de pas de la fonction d'autofocus peuvent être définis dans le logiciel en utilisant la méthode de régression gaussienne ; définissez un temps d'intégration spécifié et collectez l'intensité de la méthode Focus.
Structure du produit
Spécification
Système optique :
Angle d'incidence
65°
Déviation du faisceau
< 0,3°
Paramètres de mesure
Psi&Del, TanPsi&CosDel, Alpha&Beta
Polariseurs
Glan-Thompson
Matériau
a-BBO
Compensateur
retard de phase de quart d'onde, hyper apochromatique
Sélection d'intensité
Élément de sélection de densité optique linéaire. Assure un bon rapport signal/bruit lors du processus de mesure, améliore la précision des données,
évite que l'intensité lumineuse soit saturée ou trop faible pour réduire le rapport signal/bruit et la précision
Conception optique
fibres optiques doubles transmettent la lumière de la lampe au spectromètre à travers des éléments de polarisation ; trajet optique stable, pratique pour changer les lampes
Fibre
passivation anti-UV ; NA=0,22 ; ouverture claire 600um
Petit point lumineux
diamètre ≤200um, permettant de distinguer entre la lumière utile réfléchie par la surface avant et la lumière inutile réfléchie par
surface inférieure, facile à démonter
Slit
1 50um, pour distinguer entre la lumière utile réfléchie par la surface avant et la lumière inutile réfléchie par le fond
surface
Tableau de sélection des paramètres de base :
Plage spectrale
350-1000nm
C
Visible
210-1000nm
UC
UV-Visible
210-1700nm
Un
UV-Vis-NIR
Compensateur optique
RC
Compensateur unique
RC2
C2
Compensateur double
Plage spectrale
X-Y
M
Grand débattement jusqu'à 230 mm
X-R
Barre
Grand diamètre jusqu'à 300 mm
Emballage et livraison
FAQ
1. À propos du prix :
Tous nos prix sont compétitifs et négociables. Le prix varie en fonction de la configuration et de la complexité de personnalisation de votre appareil.

2. À propos des échantillons :
Nous pouvons vous fournir des services de production d'échantillons, mais des frais peuvent être requis.

3. À propos du paiement :
Une fois le plan confirmé, vous devez d'abord nous verser un acompte et l'usine commencera à préparer les marchandises. Une fois l'équipement prêt et après paiement du solde, nous l'expédierons.

4. À propos de la livraison :
Une fois la fabrication de l'équipement terminée, nous vous enverrons une vidéo de contrôle qualité et vous pourrez également venir sur place pour inspecter l'équipement.

5. Installation et mise au point :
Une fois que l'équipement est arrivé dans votre usine, nous pouvons envoyer des ingénieurs pour installer et mettre en service l'équipement. Nous vous fournirons un devis séparé pour ce coût de service.

6. À propos de la garantie :
Nos équipements bénéficient d'une période de garantie de 12 mois. Après la période de garantie, si des pièces sont endommagées et doivent être remplacées, nous ne facturerons que le prix des coûts.

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