Modèle |
MD-FXY12 Petit ioniseur par sputtering |
Chambre à vide |
ф100mm*L130mm |
Plateau pour échantillons |
ф40mm (6 cellules d'échantillonnage en même temps) |
Cible de dépôt de or |
ф57mm |
Jauge à vide |
Pirani |
Pompe à vide |
Pompe à palettes rotatives : 2L/s |
Point de protection contre le vide |
20Pa |
Gaz de travail |
Air ou Ar avec micro ajustable |
Tension de pulvérisation |
1.6KV |
Poids net |
20kg+40kg |
Conformité |
CE |
Hôte MD-FXY12 |
1 Ensemble |
Pompe mécanique |
1 Ensemble |
ligne-pompe |
1 |
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