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  • MDXN-25X Aligneur de Masque à Simple Face à Haute Précision
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MDXN-25X Aligneur de Masque à Simple Face à Haute Précision

Description du produit
Cet équipement est une machine de lithographie de précision développée par notre entreprise spécifiquement pour les caractéristiques d'utilisation des machines de lithographie dans diverses universités et instituts de recherche. Elle est principalement utilisée pour le développement et la production de circuits intégrés de petite et moyenne taille, de composants semi-conducteurs, de dispositifs optoélectroniques et de dispositifs d'ondes acoustiques de surface.
MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory
Spécification

Principaux Paramètres Techniques

1. L'appareil peut aspirer un masque carré de 5" x 5", sans exigence particulière concernant l'épaisseur de la plaque (allant de 1 à 3 mm).
2. L'appareil peut être utilisé pour un substrat circulaire de diamètre ф 100 mm;
3. Épaisseur du substrat ≤ 5 mm;
4. Éclairage :
Source lumineuse : une lampe au mercure sous pression ultra élevée GCQ350Z est utilisée.
Plage d'éclairage : ≤ ф 117 mm Zone d'exposition : ф 100 mm
dans un rayon de ф 100 mm, l'inhomogénéité de l'exposition est ≤ ± 3 %, et l'intensité d'exposition est > 6 mW/cm² (ce critère est mesuré en utilisant une source lumineuse UV ligne I 365 nm).
5. Cet appareil utilise un relais temporel importé pour contrôler l'obturateur pneumatique, garantissant un fonctionnement précis et fiable.
6. Cette machine est une machine d'exposition par contact qui peut réaliser :
7. Exposition par contact dur : Utilisez le vide du pipeline pour obtenir un contact haute vacuum, vide ≤ -0,05 MPa
8. Exposition au contact doux : La pression de contact peut augmenter le vide à entre -0,02MPa et -0,05MPa.
9. Exposition au contact microscopique : Moins que le contact doux, vide ≥ -0,02MPa.
10. Résolution d'exposition : La résolution de l'exposition au contact dur de cet appareil peut atteindre 1 μm ou plus (la précision des "plaques" et des "puces" de l'utilisateur doit respecter les réglementations nationales, et l'environnement, la température, l'humidité et la poussière peuvent être strictement contrôlés. Une photo-résine positive importée est utilisée, et l'épaisseur uniforme de la photo-résine peut être strictement contrôlée. De plus, les processus avant et après sont avancés).
11. Alignement : Le système d'observation se compose de deux caméras CCD montées sur deux microscopes monoculaires et connectées à l'écran d'affichage via un câble vidéo.
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Emballage et livraison
MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier
MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details
Profil de l'entreprise
Nous avons 16 ans d'expérience dans la vente d'équipements. Nous pouvons vous fournir une solution professionnelle clé en main pour les lignes d'emballage avant et arrière du secteur semi-conducteur en Chine.

FAQ

1. À propos du prix :

Tous nos prix sont compétitifs et négociables. Le prix varie en fonction de la configuration et de la complexité de personnalisation de votre appareil.

 

2. À propos des échantillons :

Nous pouvons vous fournir des services de production d'échantillons, mais des frais peuvent être requis.

 

3. À propos du paiement

Une fois le plan confirmé, vous devez d'abord nous verser un acompte et l'usine commencera à préparer les marchandises. Une fois l'équipement prêt et après paiement du solde, nous l'expédierons.

 

4. À propos de la livraison :

Une fois la fabrication de l'équipement terminée, nous vous enverrons une vidéo de contrôle qualité et vous pourrez également venir sur place pour inspecter l'équipement.

 

5. Installation et mise au point :

Une fois que l'équipement est arrivé dans votre usine, nous pouvons envoyer des ingénieurs pour installer et mettre en service l'équipement. Nous vous fournirons un devis séparé pour ce coût de service.

 

6. À propos de la garantie :

Nos équipements bénéficient d'une période de garantie de 12 mois. Après la période de garantie, si des pièces sont endommagées et doivent être remplacées, nous ne facturerons que le prix des coûts.

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