Machine de lithographie à aligneur de masque , China Machine de lithographie à aligneur de masque Manufacturers, Suppliers, Factory

Description des produits

Machine de lithographie à aligneur de masque

Aligneur de masque Aussi appelé : machine d'exposition d'alignement de masque, système d'exposition, système de lithographie, etc., il s'agit de l'équipement principal pour fabriquer des puces. Il utilise une technologie similaire à l'impression photographique pour imprimer des motifs fins sur le masque sur la galette de silicium par exposition lumineuse.

Caractéristique

—— Tête d'exposition à œil volant avec haute uniformité / mécanisme de nivellement à flottaison d'air / système d'exposition à maintien au vide fiable.
——Les caractéristiques ci-dessus assurent une haute résolution et une grande uniformité.
——La méthode d'alignement par masque garantit une stabilité et un positionnement précis du substrat, ce qui assure la cohérence de la gravité du guide et de la force.
——Utilisation d'un guide linéaire sans espace, haute précision, vitesse élevée.

La fabrication d'un système d'alignement à haute précision nécessite une quasi-perfection dans le processus mécanique. Un autre problème technique du système d'alignement est le microscope d'alignement. Afin d'améliorer le champ de vision du microscope, de nombreux équipements de lithographie de pointe utilisent un éclairage LED. Il y a deux systèmes d'alignement avec fonction de mise au point. Ils sont principalement composés de deux yeux et deux champs de vision ciblant le corps principal du microscope, une paire d'oculaires et une paire d'objectifs (les machines de lithographie fournissent généralement des oculaires et des objectifs avec différents grossissements pour les utilisateurs).
la fonction du système d'alignement CCD est d'agrandir les marques d'alignement du masque et de l'échantillon et de les afficher sur le moniteur.

Spécification

Fabricant	Minder-Hightech	Minder-Hightech	Minder-Hightech	Minder-Hightech
Modèle	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31	MD-G33
Tête d'exposition NON.	1 tête d'exposition	1 tête d'exposition	2 têtes d'exposition	2 têtes d'exposition
Type de source lumineuse	Source au mercure	Source lumineuse aux ultraviolets	Source au mercure	Source lumineuse aux ultraviolets
Zone d'exposition	≤∅100mm	φ100mm	≤∅120mm	≥∅115mm
Mode d'exposition	Exposition au contact	technologie de parallélisme micro-forçage	technologie de parallélisme micro-forçage	technologie de parallélisme micro-forçage
Inhomogénéité d'exposition	∅100mm<±4%	≤±3%	∅100mm≤±6%	≤±3% Intensité d'exposition ≥20mw/cm2 (365nm, 404nm, 435nm UV combiné
Épaisseur du substrat	1-5mm	≤ 5 mm	0,1-1mm	≤ 5 mm
Résolution d'exposition	3 μm	1 μm	5 μm	1 μm
Portée d'éclairage	∅115mm	∅120mm	∅120mm	∅130mm
Système de caméra	Système de séparation binoculaire	système CCD à double champ	système CCD à double champ	système CCD à double champ
Système de microscope	zoom continu 50-375	zoom continu 91x ~ 570X (objectif 1,6x ~ 10x zoom continu), la plage ajustable de la distance entre les deux objectifs est 50mm ~ 120mm	0,7-4,5 zoom continu	60x, 120x zoom continu (grossissement de l'objectif 2x, 4x deux), double objectif réglable à distance 25mm-70mm

Profil de l'entreprise

Minder-Hightech est un représentant de vente et de service dans l'équipement de l'industrie des semi-conducteurs et des produits électroniques. Depuis 2014, l'entreprise s'engage à fournir aux clients des Solutions Supérieures, Fiables et Toutes Comprises pour l'équipement machinique.

FAQ

1. À propos du prix :
Tous nos prix sont compétitifs et négociables. Le prix varie en fonction de la configuration et de la complexité de personnalisation de votre appareil.

2. À propos des échantillons :
Nous pouvons vous fournir des services de production d'échantillons, mais des frais peuvent être requis.

3. À propos du paiement :
Une fois le plan confirmé, vous devez d'abord nous verser un acompte et l'usine commencera à préparer les marchandises. Une fois l'équipement prêt et après paiement du solde, nous l'expédierons.

4. À propos de la livraison :
Une fois la fabrication de l'équipement terminée, nous vous enverrons une vidéo de contrôle qualité et vous pourrez également venir sur place pour inspecter l'équipement.

5. Installation et mise au point :
Une fois que l'équipement est arrivé dans votre usine, nous pouvons envoyer des ingénieurs pour installer et mettre en service l'équipement. Nous vous fournirons un devis séparé pour ce coût de service.

6. À propos de la garantie :
Nos équipements bénéficient d'une période de garantie de 12 mois. Après la période de garantie, si des pièces sont endommagées et doivent être remplacées, nous ne facturerons que le prix des coûts.

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