Système CMP de précision

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Système CMP de précision

Vue d'ensemble de l'équipement:

Le système CMP de précision est principalement utilisé pour le rodage et l’aminçissement de puces semi-conductrices principales telles que celles en silicium, en dioxyde de silicium et en antimonure d’indium pour plans focaux, ainsi que pour le polissage chimico-mécanique des faces inférieure, supérieure et latérale.

L’ensemble de la machine et de tous ses composants est entièrement anticorrosif, et les paramètres du procédé peuvent être réglés via une interface interactive tactile.

Taille de l’échantillon traitable :

Taille de l’échantillon ≤ 152 mm / 6 pouces

Épaisseur usinable : 50 μm à 10 mm

Indicateurs de procédé atteignables :

1. L’écart total d’épaisseur (TTV) d’une plaquette de φ75 mm est inférieur à 2 μm ;

2. L’écart total d’épaisseur (TTV) d’une plaquette de φ100 mm est inférieur à 3 μm ;

3. L’écart total d’épaisseur (TTV) d’une plaquette de φ150 mm est inférieur à 4 μm.

Types d'échantillons pouvant être traités :

Silicium, carbure de silicium, diamant, céramiques, nitrure de gallium, quartz, antimonure de gallium, phosphure d'indium, arséniure de gallium, tellurure de cadmium et de zinc, tellurure de mercure et de cadmium, niobate de lithium et autres matériaux semi-conducteurs.

Caractéristiques de l'équipement :

1. Réalisation de la fonction de détection du point final pour le contrôle de l'épaisseur de l'échantillon.

2. Contrôle en ligne et en temps réel de la température de la plaque de rodage et de polissage, ainsi que fonction de refroidissement.

3. Système d'alimentation multi-canaux.

4. Fonction de rinçage automatique de la plaque de rodage et de polissage.

5. Fonction de réparation automatique de la plaque.

6. Le porte-échantillon est équipé d'une table numérique de surveillance de l'épaisseur, avec une précision de surveillance de 0,1 µm.

Paramètres techniques:

Configuration de l'appareil :

FAQ

1. À propos du prix :

Tous nos prix sont compétitifs et négociables. Le prix varie en fonction de la configuration et de la complexité de personnalisation de votre appareil.

2. À propos des échantillons :

Nous pouvons vous fournir des services de production d'échantillons, mais des frais peuvent être requis.

3. À propos du paiement :

Une fois le plan confirmé, vous devez d'abord nous verser un acompte et l'usine commencera à préparer les marchandises. Une fois l'équipement prêt et après paiement du solde, nous l'expédierons.

4. À propos de la livraison :

Une fois la fabrication de l'équipement terminée, nous vous enverrons une vidéo de contrôle qualité et vous pourrez également venir sur place pour inspecter l'équipement.

5. Installation et mise au point :

Une fois que l'équipement est arrivé dans votre usine, nous pouvons envoyer des ingénieurs pour installer et mettre en service l'équipement. Nous vous fournirons un devis séparé pour ce coût de service.

6. À propos de la garantie :

Nos équipements bénéficient d'une période de garantie de 12 mois. Après la période de garantie, si des pièces sont endommagées et doivent être remplacées, nous ne facturerons que le prix des coûts.

7. Service après-vente :

Toutes les machines bénéficient d'une période de garantie supérieure à un an. Nos ingénieurs techniques sont toujours en ligne pour vous fournir des services d'installation, de mise au point et de maintenance du matériel. Nous pouvons fournir des services d'installation et de mise au point sur site pour les équipements spéciaux et les grands équipements.