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MDICP-5000F Machine d'étchage ICP entièrement automatique

Modèle : MDICP-5000F

MDICP-5000F Machine d'étchage ICP entièrement automatique
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Résumé exécutif :

L'équipement est un système sous vide à deux chambres. Une chambre est la chambre d'injection d'échantillons et l'autre est la chambre d'étchage. Un verrou sous vide est installé entre la chambre d'injection d'échantillons et la chambre d'étchage, et le transport d'injection d'échantillons est effectué par manipulateur.
L'équipement est principalement composé d'un système sous vide, d'un système de circuit gazeux, d'un système électrique, d'un système de contrôle, d'un système de refroidissement, d'un mécanisme de déroulage et de prise de film, d'un système d'alarme, etc.

Système sous vide :

Le système se compose d'une pompe moléculaire avec un débit de 600 L/s + une pompe sèche sous vide importée avec un débit de L/s pour pomper la chambre d'étamage à haute vacuum. Une vanne régulatrice de pression électrique est installée entre la pompe moléculaire et la chambre d'étamage. La pompe sèche importée est la pompe préalable de la chambre d'étamage et la pompe avant de la pompe moléculaire. Utilisez une autre pompe mécanique avec un débit de L/s pour vider la chambre d'échantillon. Des brides en acier inoxydable sont utilisées pour la connexion entre la pompe mécanique et la chambre à vide ainsi que la pompe moléculaire, et une vanne électromagnétique pneumatique est installée.

Système de contrôle à pression constante

L'équipement est équipé d'un système de contrôle de pression constante en aval, et une vanne électrique ajustable est installée dans la conduite d'extraction d'air. Grâce à la mesure du jauge-film (pièces importées), la vanne ajustable est contrôlée pour que la chambre sous vide atteigne une pression constante, ce qui améliore ainsi la stabilité du procédé.

Système de contrôle à pression constante

L'équipement est équipé d'un système de contrôle de pression constante en aval, et une vanne électrique ajustable est installée dans la conduite d'extraction d'air. Grâce à la mesure du jauge-film (pièces importées), la vanne ajustable est contrôlée pour que la chambre sous vide atteigne une pression constante, ce qui améliore ainsi la stabilité du procédé.

Système de circuit de gaz

Deux ensembles de générateurs RF avec appariement automatique.

Un système d'alarme

Exigences de sécurité pour l'équipement.
Spécification
Nom
Résumé du RCP
Marque
N°/Ensemble
Remarque
Chambre d'étanchéification, conduite d'extraction d'air, fenêtre d'observation, interface réservée, etc.
Standard
JSWN
1
Anticorrosif
Cadre, armoire électrique, joints, pièces standard, etc.
Standard
JSWN
1
Système de levage du couvercle de la chambre d'étanchéification
Standard
JSWN
1
Anticorrosif
Électrode d'échantillonnage et système de refroidissement
Standard
JSWN
1
Anticorrosif
Pompe moléculaire (vitesse de pompage 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Anticorrosif
Pompe sèche d'entrée (vitesse de pompage 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Anticorrosif
Pompe mécanique (vitesse de pompage 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Vanne de régulation électrique
DCQ-150
JSWN
1
Anticorrosif
Vanne à membranes pneumatiques
KF40
JSWN
3
Anticorrosif
Jauge à film
KF16
INFICON
1
Anticorrosif
Contrôleur de débit massique
D07
Sevenstar
4
Anticorrosif
Vanne diaphragme pneumatique
1/4'' VCR
-
4
Anticorrosif
Tube en acier inoxydable, raccord tubulaire, etc.
1/4'' VCR
-
4
Anticorrosif
Alimentation en RF / allumeur automatique
-
Chine(OptionalCROWN1310)
1
Alimentation en RF / allumeur automatique
-
Chine(OptionalCROWN1310)
1
Jauge de vide composite
ZDF
RB
1
CPI
2U
Chine
1
Écran tactile LCD
17 pouces
Chine
1
Système de contrôle plc
S7-200
Siemens
1
Système de contrôle de la commande électrique
Standard
JSWN
1
Détecteur d'eau de refroidissement et système de tuyauterie
Standard
JSWN
1
Détecteur d'air comprimé et système de tuyauterie
Standard
JSWN
1
Machine à eau de refroidissement circulante
HX
Chine
1
Chambre d'injection d'échantillonnage
Standard
JSWN
1
Sas sous vide
SMC
SMC
1
Système de contrôle du manipulateur
SMC
SMC
1

Paramètre technique du courrier

1. Vide limite : Chambre d'échantillonnage 9,0×10-5Pa (Humidité intérieure ≤55%)
Chambre d'injection d'échantillons 6,0×10-1Pa
2. Matériau d'échantillonnage : Matériau Ⅲ、Ⅴ, Si, SiO2, etc.
3. Taux d'échantillonnage : ~ 1μ/min
4. Uniformité d'échantillonnage : ≤±5%(plage φ125mm)
6. Taille de l'électrode : φ200mm

FAQ

1. À propos du prix :

Tous nos prix sont compétitifs et négociables. Le prix varie en fonction de la configuration et de la complexité de personnalisation de votre appareil.

 

2. À propos des échantillons :

Nous pouvons vous fournir des services de production d'échantillons, mais des frais peuvent être requis.

 

3. À propos du paiement :

Une fois le plan confirmé, vous devez d'abord nous verser un acompte et l'usine commencera à préparer les marchandises. Une fois l'équipement prêt et après paiement du solde, nous l'expédierons.

 

4. À propos de la livraison :

Une fois la fabrication de l'équipement terminée, nous vous enverrons une vidéo de contrôle qualité et vous pourrez également venir sur place pour inspecter l'équipement.

 

5. Installation et mise au point :

Une fois que l'équipement est arrivé dans votre usine, nous pouvons envoyer des ingénieurs pour installer et mettre en service l'équipement. Nous vous fournirons un devis séparé pour ce coût de service.

 

6. À propos de la garantie :

Nos équipements bénéficient d'une période de garantie de 12 mois. Après la période de garantie, si des pièces sont endommagées et doivent être remplacées, nous ne facturerons que le prix des coûts.

 

7. Service après-vente :

Toutes les machines bénéficient d'une période de garantie supérieure à un an. Nos ingénieurs techniques sont toujours en ligne pour vous fournir des services d'installation, de mise au point et de maintenance du matériel. Nous pouvons fournir des services d'installation et de mise au point sur site pour les équipements spéciaux et les grands équipements.

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