Décapant de résine photo sensible par plasma sec ICP , China Décapant de résine photo sensible par plasma sec ICP Manufacturers, Suppliers, Factory

Décapant de résine photo sensible par plasma sec ICP

Le décapant de résine photo sensible par plasma sec ICP est principalement utilisé pour l’élimination de polymères, le décapage (ashing), le décapage léger (descumming), l’élimination de la résine photo sensible après implantation ionique et le nettoyage des résidus en surface. La chambre MDST3100 accepte des échantillons de 4 à 8 pouces avec un traitement monocouche, tandis que la chambre MDST3200 accepte des échantillons de 4 à 8 pouces avec une capacité de deux wafers par lot.

L’apparence de l’équipement est sujette à des mises à jour et ajustements continus ; le produit effectivement expédié fait foi.

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工艺流程.png(5c78296a74).jpg 去除光刻胶去胶机 (5)(130d03181e).jpg

Lessivage

Retrait de polymère

DESCUM

Nettoyage à sec de la couche de masque dur

Élimination de la photo-résine après implantation ionique

Élimination des résidus de surface

Élimination de la photo-résine dans le procédé BAW/SAW

Nettoyage à sec de la couche de film graphique anti-reflet

Nettoyage de surface après étchage

Avantages :

Haut degré d’ionisation et de décomposition du plasma

Après traitement au plasma, la reproductibilité est élevée

Gravure sèche, sans source de pollution

Contrôle de la pression et de la température par vannes papillon

Peut maintenir le plasma à haute pression

Séparation entre la source haute tension et le générateur d’ions

Jonction micro-ondes et circuit magnétique sont compatibles

Peut répondre aux exigences des clients

Basse température pendant le traitement

Vitesse de réponse rapide et temps de réponse court

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Modèle		MDST3100	MDST3200
Source plasma		RF	RF
Puissance	ICP	1000 W	1000 W
	BIAS	NA	NA
Domaine d'application		4 à 8 pouces	4 à 8 pouces
Nombre de wafers traités en une seule opération		1	2
Dimensions globales		1300 x 1190 x 1847 mm	1300 x 1650 x 1850 mm
Contrôle du système		Système de contrôle industriel
degré d'automatisation		Automatique