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| Modell  | MD-10L-RF  | 
| Kontrollsystem  | PLC+ Touchscreen  | 
| Frequenz    | 13,56 MHz  | 
| Spannung    | AC 220V (±10V) Einphasig  | 
| Leistung    | 100-300 W (Einstellbar)  | 
| Gasflusssteuerung  | zweiphasen-Düsenstromsteuerung  | 
| Steuerungsmethode    | Automatische und manuelle Methoden  | 
| Hohlraumgröße (L*B*H) mm  | 250×200×200 | 
| Hohlmaterial  | edelstahl 316 / Aluminiumlegierung  | 
| Lastspezifikationen (T*H) mm  | 175×185 (Insgesamt drei Tablette)  | 
| Gerätegröße (T*H*B) mm  | 600×560×520 | 
| Kammerkapazität  | 10 Liter  | 
| Vakuumbetrieb  | 30- 100 Pa  | 
| Gasauswahl  | Ar, N2, O2, Luft, H2+N2 (gemischte Zusammensetzung)  | 

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