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Spektroskopischer Ellipsometer

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Produktbeschreibung

Spektroskopischer Ellipsometer

Das spektrale Ellipsometer kann schnelle und mehrpunktige automatische Messungen durchführen und ermöglicht mit einem Klick die Prüfung der Probeneinheitlichkeit. Die am Produkt verwendeten Polarisatoren, Analysatoren und Kompensatoren sind jeweils mit absolut codierten hochpräzisen Positionsverriegelungseinrichtungen mit Bandlückenkompensationsfunktion ausgestattet, wodurch die Systemgenauigkeit und -stabilität erhöht werden.
Durch die Verwendung einer Dual-Faser-Architektur wird die Lichtsammlungseffizienz verbessert, sodass aus geätzten Säurepolieroberflächen oder herkömmlichen Pyramiden-Vorderseiten ausreichende Spektren für Messung und Analyse gesammelt werden können. Das Gerät verfügt zudem über grundlegende Funktionen wie Autofokus, Lichtintensitätsauswahl und Phasenkompensation.

Entworfen für hochpräzise und effiziente Analyse der optischen Eigenschaften von Materialien. Er kann den Brechungsindex, den Extinktionskoeffizienten und die Schichtdicke von Materialien automatisch, schnell und genau messen. Er eignet sich für dünnfilm- und Materialcharakterisierungsanforderungen in der wissenschaftlichen Forschung, Halbleitern, Photovoltaik, optischen Beschichtungen, Anzeigeflächen und anderen Bereichen.

Messobjekt:

Optische Beschichtung: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2, Pi.
Anzeige: OLED (AIG3, PCBM, NPB, NPD...), Elektroden (ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Photovoltaik: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Halbleiter: Photoresist, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Andere: OCD, 2-D Materialien, Van-der-Waals-Heterojunction und Geräte...

Produktfunktion:

Brechungsindexmessung: Brechungsindex von Materialien bei unterschiedlichen Wellenlängen genau messen, um Schlüsseldaten für optisches Design und Materialforschung bereitzustellen.
Absorptionskoeffizientenmessung: Lichtabsorptionscharakteristiken von Materialien analysieren, um die Leistung von Optoelektronikgeräten zu optimieren.
Filmdicke-Messung: Unterstützung der Dickenmessung von Nanometer- bis Mikron-Level-Filmen mit hoher Auflösung und guter Wiederholbarkeit.
Schnelle automatische Tests: Mit der Mehrpunkt-Automatik-Scann-Funktion erreicht die Messgeschwindigkeit 1 Sekunde/Punkt, was die Effizienz des Serientests erheblich steigert.

Messprinzip:

Das Prinzip der Ellipsometrie-Messung basiert auf der Änderung des Polarisationszustands von optischen Reflexionen vor und nach der Oberfläche des Mediums, um optische Eigenschaften und Strukturinformationen zu erhalten.
Das elektrische Feld des einfallenden Strahls wird in zwei senkrechte Richtungen zerlegt, wobei das p-Licht parallel zur Vibration des Lichts ist.
welle, s Licht ist senkrecht zur Vibration der Lichtwelle. Die Amplituden und Phasen von p- und s-Licht ändern sich, wenn der Strahl von der Oberfläche des Mediums reflektiert wird.
Die Korrelation zwischen den physikalischen Eigenschaften des Mediums und der Änderung des Polarisationszustands.

Arbeitsumgebung des Instruments:

Spannung: 220VAC+10%
Raumtemperatur: Umgebungstemperatur (10-30)°C
Relative Luftfeuchtigkeit: (20-80)% RH

Spektrometer:

Detektionseinheit: 2048-Pixel schneller CCD-Detektor mit Rückenseitenbeleuchtung
Detaillierte Parameter:
1. Spektralbereich besser als 350nm-1000nm
2. Streulicht<0,02%@400nm
3. Signal-Rausch-Verhältnis 4800
4. dynamischer Bereich 50000:1
5. holografischer Lichtweg
6. digitale Auflösung 16-Bit
7. Lesegeschwindigkeit >400kHz
8. Datentransfergeschwindigkeit 600MB/s
9. Minimale Integrationszeit/Einstellschritt 6 us/1us
10. Externer Trigger-Verzögerung 95ns+/–20ns
11. Computer-Schnittstelle USB4.1C/2.0
12. Betriebssystem Win 7/in 8/Win 10
durchschnittliche QE im UV-Bereich, Rückseiten-CCD, durchschnittliches QE ≥75% Abkühlsystem Mikro-TE-Abkühlung, Temperatur nach dem Kühlvorgang beträgt 30°C
unter der Umgebungstemperatur.
Integrationsmethode softwaregesteuerte automatische Einstellung der Integrationszeit, kann das Beste erreichen

Lichtquellsystem:

Lichtquelle Halogenlampe mit Quarzröhre, Wellenlängenbereich 350nm-2000nm, keine Abnutzung, Lebensdauer länger als 50000 Stunden.
Unabhängige Stromversorgung für Halogenlampe, Spannung 4,9Vd

Bühne mit Autofokus-Funktion:

Verschiebe Probe in die beste Messposition mit Autofokus-Funktion. Hub: 100mm
Genauigkeit: 0,0005mm. Ortsbegrenzung mit positiver und negativer Begrenzung und Nullpositionsensor; Anfangsposition, Endposition und Schrittweite der Autofokus-Funktion können in der Software unter Verwendung der Gauß-Regression-Methode festgelegt werden; legen Sie eine bestimmte Integrationszeit fest und messen Sie die Intensität der Fokusmethode.
Produktstruktur
Spezifikation
Optisches System:
Einfallswinkel
65°
Strahlabweichung
< 0.3°
Messparameter
Psi&Del, TanPsi&CosDel, Alpha&Beta
Polarisatoren
Glan-Thompson
Material
a-BBO
Kompressor
viertelwellen-Phasenverschiebung, hyperachromatisch
Intensitätsauswahl
Lineare Optikdichte-Auswahlelement. Gewährleistet ein gutes Signal-Rausch-Verhältnis im Messprozess, verbessert die Datengenauigkeit.
vermeidet, dass die Lichtintensität zu stark wird oder zu schwach ist, um das Signal-Rausch-Verhältnis und die Genauigkeit zu reduzieren
Optische Konstruktion
doppelter Faserleitung, der das Licht von der Lampe über Polarisationselemente zum Spektrometer leitet; stabiler Lichtweg, bequem zur Austausch der Lampen
Faser
uV-Abschirmung; NA=0.22; offenes Durchmesser 600um
Mikro-Lichtfleck
durchmesser ≤200um, um den nützlichen vom Vordergrund reflektierten Licht und dem unnützen vom Hintergrund reflektierten Licht zu unterscheiden
unterseite, leicht zu zerlegen
Gespalten
1 50um, zur Unterscheidung zwischen dem nützlichen Licht, das von der Vorderseite reflektiert wird, und dem unnützen Licht, das von der Unterseite reflektiert wird
oberfläche
Grundparameter-Auswahltabelle:
Spektralbereich
350-1000nm
C
Sichtbar
210-1000nm
UC
UV-Visibel
210-1700nm
Nicht
UV-Vis-NIR
Optischer Kompensator
Rc
Einziger Kompensator
Die in Absatz 1 genannten
C2
Doppelter Kompensator
Spektralbereich
X-Y
M
Große Hubweite bis 230mm
X-R
R
Großer Durchmesser bis 300mm
Verpackung und Lieferung
Häufig gestellte Fragen
1. Preisinformationen:
Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Komplexität der Anpassung Ihres Geräts.

2. Über Stichprobe:
Wir können Ihnen Stichprobenproduktionsdienstleistungen anbieten, Sie müssen jedoch einige Gebühren übernehmen.

3. Über Zahlung:
Nach Bestätigung des Plans müssen Sie uns zunächst einen Vorschuss zahlen, und die Fabrik wird beginnen, die Waren vorzubereiten. Wenn das Gerät fertig ist und Sie den Restbetrag bezahlt haben, werden wir es verschicken.

4. Über Lieferung:
Nachdem die Fertigung des Geräts abgeschlossen ist, werden wir Ihnen das Akzeptanzvideo senden und Sie können auch vor Ort kommen, um das Gerät zu inspizieren.

5. Installation und Feinabstimmung:
Wenn das Gerät in Ihrer Fabrik eintrifft, können wir Ingenieure entsenden, um das Gerät zu installieren und einzustellen. Dafür werden wir Ihnen eine separate Kostenvorabschätzung bereitstellen.

6. Über die Garantie:
Unsere Geräte haben eine Garantie von 12 Monaten. Nach Ablauf der Garantieperiode werden wir bei Schäden an Ersatzteilen nur den Kostenpreis verlangen, falls diese ersetzt werden müssen.

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