Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

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Maskenausrichter Lithografiegerät

Produktebeschreibung

Maskenausrichter Lithografiegerät

Mask Aligner Auch bekannt als: mask alignment exposure machine, exposure system, lithography system, usw., ist das Kerngerät zur Fertigung von Chips. Es verwendet eine Technologie ähnlich der Fotodrucktechnik, um feine Muster auf der Maske auf den Siliziumwafer mittels Lichtbelichtung zu drucken.
Eigenschaften
——Hohe Uniformität Fly-Eye-Belichtungskopf / Luftkissen-Ausgleichsmechanismus / zuverlässiges Vakuumbelichtungsclamping.
——Obige Merkmale sorgen dafür, dass eine hohe Auflösung und eine hohe Gleichmäßigkeit gewährleistet ist.
——Die Ausrichtungsmethode mit Masken hält Stabilität und Substratfütterung aufrecht, was die Konsistenz der Führung und der Kraft sicherstellt.
——Verwendung von rückstandslosen Linearguiden, hohe Genauigkeit, hohe Geschwindigkeit.

Die Herstellung eines hochpräzisen Ausrichtungssystems erfordert nahezu perfekte präzise mechanische Verarbeitung. Ein weiteres technisches Problem des Ausrichtungssystems ist das Ausrichtungsmikroskop. Um das Sichtfeld des Mikroskops zu erweitern, verwenden viele hochwertige Lithografiegeräte LED-Beleuchtung. Es gibt zwei Satz von Ausrichtungssystemen mit Fokussierungsfunktion. Sie bestehen hauptsächlich aus zwei Augen und zwei Sichtfeldern, die auf den Hauptkörper des Mikroskops abzielen, einem Paar Okular und einem Paar Objektive (Lithografiegeräte bieten normalerweise Okulare und Objektive mit unterschiedlicher Vergrößerung für Benutzer).
die Funktion des CCD-Ausrichtungssystems besteht darin, die Ausrichtungszeichen von Maske und Probe zu vergrößern und sie auf dem Monitor darzustellen.
Spezifikation
Hersteller
Less-Hightech
Less-Hightech
Less-Hightech
Less-Hightech
Modell
MD-G25A
MD-G25D
MD-G31
MD-G33
Belichtungskopf NEIN.
1 Belichtungskopf
1 Belichtungskopf
2 Belichtungskopf
2 Belichtungskopf
Art der Lichtquelle
Quecksilberlampenquellen
Ultraviolett-Lichtquelle
Quecksilberlampenquellen
Ultraviolett-Lichtquelle
Belichtungsfläche
≤∅100mm
φ100 mm
≤∅120mm
≥∅115mm
Expositionsmodus
Kontaktbelichtung
mikro-Kraft-Paralleling-Technologie
mikro-Kraft-Paralleling-Technologie
mikro-Kraft-Paralleling-Technologie
Belichtungsungleichheit
∅100mm<±4%
≤ ± 3%
∅100mm≤±6%
≤±3% Auslichtungsintensität ≥20mw/cm2 (365nm,
404nm, 435nm Kombiniertes UV
Substratdicken
1-5mm
≤5 mm
0,1-1mm
≤5 mm
Belichtungsauflösung
3 μm
1 μm
5 μm
1 μm
Beleuchtungsbereich
∅115mm
∅120mm
∅120mm
∅130mm
Kamerasystem
Stereosche Trennungssystem
doppelfeld-CCD-System
doppelfeld-CCD-System
doppelfeld-CCD-System
Mikroskop-System
50-375 stetige Zoomfunktion
91x ~ 570X stetige Zoomfunktion (Objektiv 1.6x ~ 10x stetige Zoom), der einstellbare Bereich des Abstands zwischen den doppelten Objektiven ist
50mm ~ 120mm
0,7-4,5 kontinuierliche Zoomfunktion
60x, 120x kontinuierliche Zoomfunktion
(Objektivvergrößerung 2x, 4x zwei), doppelter objektivverstellbarer Abstand 25mm-70mm
Unternehmensprofil
Minder-Hightech ist Vertreter für Verkauf und Service von Ausrüstung in der Halbleiter- und Elektronikproduktindustrie. Seit 2014 hat sich das Unternehmen darauf spezialisiert, Kunden überlegene, zuverlässige und integrierte Lösungen für Maschinen auszurichten.
FAQ
1. Preisinformationen:
Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Komplexität der Anpassung Ihres Geräts.

2. Über Stichprobe:
Wir können Ihnen Stichprobenproduktionsdienstleistungen anbieten, Sie müssen jedoch einige Gebühren übernehmen.

3. Über Zahlung:
Nach Bestätigung des Plans müssen Sie uns zunächst einen Vorschuss zahlen, und die Fabrik wird beginnen, die Waren vorzubereiten. Wenn das Gerät fertig ist und Sie den Restbetrag bezahlt haben, werden wir es verschicken.

4. Über Lieferung:
Nachdem die Fertigung des Geräts abgeschlossen ist, werden wir Ihnen das Akzeptanzvideo senden und Sie können auch vor Ort kommen, um das Gerät zu inspizieren.

5. Installation und Feinabstimmung:
Wenn das Gerät in Ihrer Fabrik eintrifft, können wir Ingenieure entsenden, um das Gerät zu installieren und einzustellen. Dafür werden wir Ihnen eine separate Kostenvorabschätzung bereitstellen.

6. Über die Garantie:
Unsere Geräte haben eine Garantie von 12 Monaten. Nach Ablauf der Garantieperiode werden wir bei Schäden an Ersatzteilen nur den Kostenpreis verlangen, falls diese ersetzt werden müssen.

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