Präzisions-CMP-System

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Präzisions-CMP-System

Geräteübersicht:

Das präzise CMP-System wird hauptsächlich zum Läppen und Dünnschleifen von Halbleiter-Hauptchips wie Silizium-, Siliziumdioxid- und Indiumantimonid-Fokalebene-Chips sowie zum chemisch-mechanischen Polieren von Unterseite, Oberfläche und Stirnfläche eingesetzt.

Die gesamte Maschine und alle Komponenten der Anlage sind vollständig korrosionsbeständig; die Prozessparameter können über die Touchscreen-basierte Benutzeroberfläche eingestellt werden.

Verarbeitbare Probengröße:

Probengröße ≤ 152 mm / 6 Zoll

Bearbeitbare Dicke: 50 μm bis 10 mm

Erreichbare Prozesskennwerte:

1. Die Gesamtdickenabweichung (TTV) eines φ75-mm-Wafers liegt innerhalb von 2 μm;

2. Die Gesamtdickenabweichung (TTV) eines φ100-mm-Wafers liegt innerhalb von 3 μm;

3. Die Gesamtdickenabweichung (TTV) eines φ150-mm-Wafers liegt innerhalb von 4 μm.

Arten von Proben, die verarbeitet werden können:

Silizium, Siliziumkarbid, Diamant, Keramiken, Galliumnitrid, Quarz, Galliumantimonid, Indiumphosphid, Galliumarsenid, Cadmium-Zink-Tellurid, Quecksilber-Cadmium-Tellurid, Lithiumniobat und andere Halbleitermaterialien.

Ausstattungsmerkmale:

1. Realisierung der Endpunkt-Erkennungsfunktion zur Steuerung der Probendicke.

2. Online-Echtzeit-Steuerung und Kühlung der Temperatur von Läpp- und Polierplatten.

3. Mehrkanal-Zuführsystem.

4. Automatische Spülfunktion für Läpp- und Polierplatten.

5. Automatische Plattenreparaturfunktion.

6. Die Halterung ist mit einem digitalen Dickenüberwachungstisch mit einer Überwachungsgenauigkeit von 0,1 µm ausgestattet.

Technische Parameter:

Gerätekonfiguration:

Häufig gestellte Fragen

1. Preisinformationen:

Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Komplexität der Anpassung Ihres Geräts.

2. Über Stichprobe:

Wir können Ihnen Stichprobenproduktionsdienstleistungen anbieten, Sie müssen jedoch einige Gebühren übernehmen.

3. Über Zahlung:

Nach Bestätigung des Plans müssen Sie uns zunächst einen Vorschuss zahlen, und die Fabrik wird beginnen, die Waren vorzubereiten. Wenn das Gerät fertig ist und Sie den Restbetrag bezahlt haben, werden wir es verschicken.

4. Über Lieferung:

Nachdem die Fertigung des Geräts abgeschlossen ist, werden wir Ihnen das Akzeptanzvideo senden und Sie können auch vor Ort kommen, um das Gerät zu inspizieren.

5. Installation und Feinabstimmung:

Wenn das Gerät in Ihrer Fabrik eintrifft, können wir Ingenieure entsenden, um das Gerät zu installieren und einzustellen. Dafür werden wir Ihnen eine separate Kostenvorabschätzung bereitstellen.

6. Über die Garantie:

Unsere Geräte haben eine Garantie von 12 Monaten. Nach Ablauf der Garantieperiode werden wir bei Schäden an Ersatzteilen nur den Kostenpreis verlangen, falls diese ersetzt werden müssen.

7. Kundendienst:

Alle Maschinen haben eine Garantiezeit von über einem Jahr. Unsere technischen Ingenieure stehen Ihnen stets online zur Verfügung, um Ihnen bei der Installation, Inbetriebnahme und Wartung Ihrer Geräte zu helfen. Für spezielle und große Anlagen können wir vor Ort Installation und Inbetriebnahme anbieten.