Produkteinführung
Die Probestation der MP-H-Serie eignet sich für Forschungs- und Entwicklungs-labore und ermöglicht es ihnen, ihr Budget einmalig zu investieren. Die Chuck-Bewegungstechnologie kann Ihre Anforderungen an eine effiziente Prüfung des gesamten Wafers erfüllen.
Produktmerkmale
1. Dreistufiger, hebebaren Mikropositioniertisch für präzise Positionierung und schnelle Trennung der Probes;
2. Standard-Metallographiemikroskop, Pad-Test über 1 μm;
3. Kann mit einem Laser für FA-Tests/Laserschneiden ausgestattet werden;
4. Pneumatisch gesteuerte Spannbacken-Bewegungstechnologie zum schnellen Ausfahren der Spannbacken.
Produktparameter
Manuelles Prüfgerät-Modell |
MP-M4/MP-M6/MP-M6mini |
MP-E4/MP-E6/MP-E8/MP-E12 |
MP-H6/MP-H8/MP-H12 |
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Futter |
Chuck-Material |
Edelstahl/vernickelt oder vergoldetes Kupfer |
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Spannheber |
N/A |
Schnellhub 5 mm, Feinverstellung 6 mm |
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Schnell bewegen |
N/A |
N/A |
√ |
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Mikroverstellplattform-Heber |
N/A |
N/A |
Schnellhebung 5 mm, Feineinstellung 40 mm, Grobeinstellung 300 μm |
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Mikroskop |
Standardmikroskop mit Körper (optionaler Video-Mikroskop-Spiegel), bis zu 100-fache Vergrößerung |
Standard-PSM-1000-Metallographiemikroskop / optional (GX-6 Metallographie-, Stereomikroskop, Video) Mikroskop, bis zu 2000-fache Vergrößerung , und das Mikroskop kann per Luftsteuerung in der Höhe verstellt werden |
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Sonde spezifikation |
Stromleckage |
Koaxial 1 pA/V @ 25 °C; Dreiwellen 100fA/V @ 25 °C; Triaxial 10pA@3kV @25°C, Prüfbedingungen: trockene Umgebung für Erdungsschirm (Taupunkt der Luft niedriger als -40 °C) |
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Typ des Steckers |
Banana-Stecker/Krokodilklemme/koaxiale/triachiale Schnittstelle |
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Testanwendung |
DC/(IV, CV)-Prüfung Niedrigstromprüfung (Klasse 100fA) 1/f-Rauschtest Gerätecharakterisierungstest WLR-, Alterungsprüfung HF-Testfrequenz bis zu 110 GHz Hochleistungs-/Hochstrom-/Hochspannungsprüfung |
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Ausfallanalyseprüfung |
Ausfallanalyseprüfung |
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