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MP-E Serie manueller Waferprober

Produkteinführung

Die Probestation der MP-H-Serie eignet sich für Forschungs- und Entwicklungs-labore und ermöglicht es ihnen, ihr Budget einmalig zu investieren. Die Chuck-Bewegungstechnologie kann Ihre Anforderungen an eine effiziente Prüfung des gesamten Wafers erfüllen.

Produktmerkmale

1. Dreistufiger, hebebaren Mikropositioniertisch für präzise Positionierung und schnelle Trennung der Probes;

2. Standard-Metallographiemikroskop, Pad-Test über 1 μm;

3. Kann mit einem Laser für FA-Tests/Laserschneiden ausgestattet werden;

4. Pneumatisch gesteuerte Spannbacken-Bewegungstechnologie zum schnellen Ausfahren der Spannbacken.

Produktparameter

Manuelles Prüfgerät-Modell

MP-M4/MP-M6/MP-M6mini

MP-E4/MP-E6/MP-E8/MP-E12

MP-H6/MP-H8/MP-H12

Futter

Chuck-Material

Edelstahl/vernickelt oder vergoldetes Kupfer

Spannheber

N/A

Schnellhub 5 mm, Feinverstellung 6 mm

Schnell bewegen

N/A

N/A

Mikroverstellplattform-Heber

N/A

N/A

Schnellhebung 5 mm, Feineinstellung 40 mm, Grobeinstellung 300 μm

Mikroskop

Standardmikroskop mit Körper (optionaler Video-Mikroskop-Spiegel), bis zu 100-fache Vergrößerung

Standard-PSM-1000-Metallographiemikroskop / optional (GX-6 Metallographie-, Stereomikroskop, Video) Mikroskop, bis zu 2000-fache Vergrößerung , und das Mikroskop kann per Luftsteuerung in der Höhe verstellt werden

Sonde

spezifikation

Stromleckage

Koaxial 1 pA/V @ 25 °C; Dreiwellen 100fA/V @ 25 °C; Triaxial 10pA@3kV @25°C,

Prüfbedingungen: trockene Umgebung für Erdungsschirm (Taupunkt der Luft niedriger als -40 °C)

Typ des Steckers

Banana-Stecker/Krokodilklemme/koaxiale/triachiale Schnittstelle

Testanwendung

DC/(IV, CV)-Prüfung

Niedrigstromprüfung (Klasse 100fA)

1/f-Rauschtest

Gerätecharakterisierungstest

WLR-, Alterungsprüfung

HF-Testfrequenz bis zu 110 GHz

Hochleistungs-/Hochstrom-/Hochspannungsprüfung

/

Ausfallanalyseprüfung

Ausfallanalyseprüfung

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