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  • Vakuum-Waferprüfvorrichtung für hohe und niedrige Temperaturen
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Vakuum-Waferprüfvorrichtung für hohe und niedrige Temperaturen

Produkteinführung

Die Probeneinspannstation der Serie MDSM-VP-CG kann IV-/CV-Kennlinientests, HF-Tests, photoelektrische Tests, elektromagnetische Transporteigenschaften und Hall-Effekt-Tests für die Charakterisierung von Bauelementen und Materialien unter Ultrahochvakuum- sowie Hoch- und Tieftemperaturbedingungen bereitstellen.

Durch die Einrichtung von Komponenten wie einer Vakuumkammer und einer Strahlungsschutzabschirmung können integrierte Hochtemperatur-, Tieftemperatur- und Vakuumtestbedingungen effektiv erfüllt und eine stabile Testumgebung für Halbleiterbauelemente bereitgestellt werden.

Produktmerkmale

1. Kann Temperaturen von 4,2 K bis 473 K unterstützen

2. Strahlungsschutz-Abschirmdesign zur Verbesserung der Temperaturgleichmäßigkeit und -genauigkeit der Probe

3. Kühlkörperdesign für die Sonde, um einen genauen Sondendruck sicherzustellen

4. Nachrüstbarer Magnetfeldaufbau

5. Flexible und skalierbare Konfiguration der Testanwendung

6. Automatische Steuerung des Kältemittelstroms, automatische präzise Temperaturregelung

Produktparameter

Modell

MDSM-VP-CG-O-2

MDSM-VP-CG-O-4

MDSM-VP-CG-C-2

Futter

Größe

2Zoll

4 Zoll

2Zoll

Probefestigungsverfahren

Vakuum-Wärmeleitfett/Federdruck

Vakuumgrad

10^-10 torr maximales Vakuum

Optisch

eigenschaften

Mikroskopverfahrweg

R-Achse 360 ° + Bewegungsachse 100 mm

Gewinn

Zoom: 7:1, Auflösung 4 μm (Vergrößerung 216X) oder metallografisches Mikroskop (20X–1000X)

Abmessungen von

beobachtungsfenster

2Zoll

4 Zoll

2Zoll

Temperatur

kONTROLLE

tECHNISCHE DATEN

CCD-Pixel

50W (Simulation)/200 W (digital)/500 W (digital)

Kühlmethode

Flüssigstickstoff/flüssiges Helium

Kühlkompressoren

Steuerungsmethode

Manuelle/automatische Kältemittelstromregelung im Offenen Kreislauf

Geschlossene automatische Regelung

Reichweite

77 K~473 K/4,2 K~473 K

7,3 K~473 K

Auflösung

0,001 K

Stabilität

4,2 K ±0,2 K bei 77 K±0,1 K bei 373 K±0,08 K bei 473 K±0,1 K

Sondenbeschreibung

Sondennummer

Die Anzahl der verschiedenen Sonden kann auf bis zu 6 erweitert werden

Prüfregelung

Externe Einstellung des Vakuumbalgs, manuelle Steuerung

Punktgenauigkeit

2μm

Stromleckage

1pA/V @25 ℃,100fA/V @25℃

Typ des Steckers

Triaxial/SMA/K/Glasfaser-Schnittstelle

Anfrage

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