Film to Film Die Sorter

Funktion:
Arbeitstisch (Linear-Modul) |
340 mm × 340 mm (max. 12 Zoll) |
Auflösung |
0,5 µm |
Wafer-Tisch (Linearmodul) |
12" max |
Auflösung |
1μm |
Drehbarer Wafer-Tisch |
optional |
Wafereinlagedeutigkeit | |
Klebeposition für Dice |
±25μm |
Rotationsgenauigkeit |
±0.5 |
Beschickungsmodul |
optionale Stempelmethode für Bonding-Anwendungen |
Werkzeugdruck |
40–250 g |
Arm-Drehbewegung |
180 Grad |
PR-System | |
Methode |
256 Graustufen |
Ermittlung |
tinte / Abplatzen / Rissbildung im Werkzeug |
Monitor |
17" LCD |
Monitorauflösung |
1024*768 |
Optiksystem |
KAMERA |
Optik-Lupenvergrößerer (Wafer) |
0,7- bis 4,5-fache Vergrößerung wahlweise erhältlich |
Taktzeit |
200MS/EA |
Der Werkzeug-Bonding-Zyklus beträgt weniger als 250 Millisekunden; die Produktionskapazität liegt bei über 12.000 Stück; | |
Lade- und Entlademodul |
Manuelles Hoch- und Herunterladen optionales Magazin-Hochladen und -Herunterladen |
Geräteanforderungen | |
Spannung |
AC 220 V, 150 Hz |
Luftquelle |
mindestens 6BAR |
Vakuumquelle |
700 mm Hg (Vakuumpumpe) |
Stromverbrauch |
3000 W |
ABMESSEN UND GEWICHT | |
Gewicht |
1000 kg |
Abmessungen (T x B x H) |
1700 × 1400 × 1700 mm |
Fehlende Die |
ja |
Vakuum-Sensor |
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