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Waferprober für Fehleranalyse

Produkteinführung

Der MDSM-FA-Serie-Prober ist eine Messanlage, die speziell für Laboratorien zur Fehleranalyse konzipiert wurde. Sie verfügt über optische und laserbasierte Eigenschaften, eine stabile Gerätestruktur, hervorragende Systemleistung, eine intuitive und bequeme Bedienung, unterstützt Mehrfachfunktions-Upgrades und bietet umfangreiche sowie vollständige Produktfunktionen.

Produktmerkmale

1. Unterstützt Probekarten zur Steigerung der Kontaktierungs-Effizienz;

2. Die Spannvorrichtung kann zum schnellen Trennen der Sonde von der Probe angehoben und abgesenkt werden;

3. Standard-Metallographisches Mikroskop, Pad-Test über 1 µm;

4. Luftgesteuerte Höhenverstellung des Mikroskops;

5. Anwendung von Mehrband-Lasern, schnelles Umschalten und präzises Schneiden.

Produktparameter

Modell

MDSM-FA-H

MDSM-FA-C

Futter

Mindestverschiebung

1μm

1μm

Temperaturbereich

RT 300

-60℃~300℃

Schnell herausziehen

N/A

Hub 290 mm

Mikroskop

Standard-Metallographisches Mikroskop PSM-1000, das bis auf 2000X vergrößert werden kann; Das Mikroskop kann per Druckluftsteuerung verstellt werden

Laser-Eigenschaften

Mikrozerspanungsfähigkeit

1064/532/355/266 nm-Bänder können ausgewählt werden

leistung

Ausgangsleistung 2,2 mJ/Puls (aufrüstbar)

band

Bearbeitbare Materialien: Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly-Silizium/Mo/SiN/CF-Verunreinigungen usw.

präzision

Die minimale Bearbeitungsgenauigkeit beträgt 1*1 μm (mit 100X-Objektiv)

kühlmethode

Wahl zwischen luftgekühltem Laser oder wassergekühltem Laser

EMI-Abschirmung

N/A

 

Anfrage

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