Automatische optische Inspektion (AOI)






Projekt |
Inhalt |
Produkttyp |
6", 8", 12" Rahmenwafer |
2D-Prüfobjekte |
Fremdkörper, verbliebener Klebstoff, Partikel, Kratzer, Risse, Verschmutzungen, CP-Abweichung, übermäßige Fläche, etc. Abweichung und Splitterung im Schnittkanal |
Prüfpunkte für den Schnittpfad |
6", 8", 12" Rahmenkassette |
Linse und Auflösung |
2x (2,75 µm) / 3,5x (1,57 µm) / 5x (1,1 µm) / 7,5x (0,73 µm) / 10x (0,55 µm) |
Präzision |
0,55 µm/Pixel |
Optional und angepasst |
TINTEN-Modul, IR-Modul |







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