Modell: MDLB-ASD2C2D
projekt |
Spezifikationen |
anmerkungen |
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1 |
Geräteübersicht |
Ausrüstungsname: Vollautomatische gleichmäßige Kleber-Entwicklungsanlage |
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Ausrüstungsmodell: MD-2C2D6 |
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Verarbeitungsspezifikationen für Wafer: kompatibel mit 4/6-Zoll-Standardwafern |
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Prozessablauf für gleichmäßiges Kleben: Blumenkorb-Schneiden → Zentrieren → gleichmäßiges Kleben (Tropfen → gleichmäßiges Kleben → Kantenernte, Rückseite waschen) → Heißplatte → Kaltplatte → Korbplatzieren Entwicklungprozessablauf: Blumenkorb-Schneiden → Zentrieren → Entwicklung (Entwicklungslösung → destilliertes Wasser, Rückwaschen → stickstofftrocknung) → Heißplatte → Kaltplatte → Korbplatzieren |
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Gesamtgröße (ungefähr): 2100mm (B) * 1800mm (T) * 2100mm (H) |
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Chemiekabinengröße (ungefähr): 1700(B) * 800(T) * 1600mm (H) |
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Gesamtgewicht (ca.): 1000kg |
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Arbeitsflächenhöhe: 1020 ± 50mm |
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2 |
Kassetteneinheit |
Menge: 2 |
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Kompatibler Größe: 4/6 Zoll |
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Kassettenerkennung: Mikroschaltererkennung |
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Ausholserkennung: Ja, reflektiver Sensor |
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3 |
roboter |
Menge: 1 |
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Typ: Doppelarm-Vakuumanhaftungsroboter |
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Freiheitsgrade: 4-Achsen (R1, R2, Z, T) |
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Fingermaterial: Keramik |
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Substratfixierungsverfahren: Vakuumanhaftungsmethode |
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Mapping-Funktion: Ja |
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Positionsgenauigkeit: ± 0,1mm |
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4 |
Zentrierungseinheit |
Menge: 1 Set |
Optionale optische Ausrichtung |
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Ausrichtungsverfahren: mechanische Ausrichtung |
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Zentriergenauigkeit: ± 0,2mm |
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5 |
Gleiche Klebeeinheit |
Menge: 2 Sets (die folgenden sind Konfigurationen für jede Einheit) |
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Spindel-Drehzahl: -5000rpm~5000rpm |
tragender Nutenrolle |
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Drehgenauigkeit der Spindel: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
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Minimale Einstellung der Drehgeschwindigkeit der Spindel: 1rpm |
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Maximale Beschleunigung der Spindeldrehung: 20000rpm/s |
tragender Nutenrolle |
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Tropfarm: 1 Satz |
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Photoresist-Röhrenroute: 2 Routen |
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Photoresist-Düsendurchmesser: 2,5mm |
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Photoresist-Isolation: 23 ± 0,5 ℃ |
optional |
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Befeuchtungsdüse: Ja |
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RRC: Ja |
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Puffer: Ja, 200ml |
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Klebstoff-Auftragsmethode: Zentrales Auftragen und Scannen sind optional |
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Kanten-Entfernungsmannschaft: 1 Satz |
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Durchmesser der Kanten-Entfernungsdüse: 0,2mm |
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Flussüberwachung für Kanten-Entfernung: Schwimmdurchflussmessgerät |
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Flussbereich für Kanten-Entfernung: 5-50ml/min |
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Rückspülleitung: 2 Wege (je 1 Kanal, 4/6 Zoll) |
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Rückspül-Flussüberwachung: Schwimmdurchflussmessgerät |
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Flussbereich für Rückspülmedium: 20-200ml/min |
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Haltemethode für Chips: Kleine Flächen-Vakuumanzeige Chuck |
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Vakuumpressuralarm: digitaler Vakuumpressursensor |
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Spannvorrichtungsmaterial: PPS |
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Cup-Material: PP |
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Cup-Abluftüberwachung: digitaler Drucksensor |
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6 |
Entwicklereinheit |
Lamelle: ja |
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Menge: 2 Sets (die folgenden sind Konfigurationen für jede Einheit) |
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Spindel-Drehzahl: -5000rpm~5000rpm |
tragender Nutenrolle |
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Drehgenauigkeit der Spindel: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
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Minimale Einstellung der Drehgeschwindigkeit der Spindel: 1rpm |
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Maximale Beschleunigung der Spindeldrehung: 20000rpm/s |
tragender Nutenrolle |
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Entwicklungsarm: 1 Satz |
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Entwicklungsleitung: 2-Wege (fächerförmig/säulenförmige Düse) |
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Entwicklerfiltration: 0,2 µm |
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Entwicklertemperaturregler: 23 ± 0,5 ℃ |
optional |
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Entwicklungs-Lösungs-Flussbereich: 100~1000ml/min |
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Bewegungsmodus des Entwicklungsarms: Fixpunkt oder Scannen |
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Fusionsarm: 1 Satz |
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Deionisiertes Wasser Rohrleitung: 1 Schaltung |
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Durchmesser der Deionisierwasser-Düse: 4mm (Innendurchmesser) |
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Deionisiertes Wasser Flussbereich: 100~1000ml/min |
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Stickstoff-Trocknungsrohrleitung: 1 Schaltung |
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Durchmesser der Stickstoffdüse: 4mm (Innendurchmesser) |
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Stickstoff-Flussbereich: 5-50L/min |
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Entwickler, deionisiertes Wasser, Stickstoffflussüberwachung: Schwimmschiff-Flussmeter |
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Rückspülleitung: 2 Wege (je 1 Kanal, 4/6 Zoll) |
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Rückspül-Flussüberwachung: Schwimmdurchflussmessgerät |
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Flussbereich für Rückspülmedium: 20-200ml/min |
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Haltemethode für Chips: Kleine Flächen-Vakuumanzeige Chuck |
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Vakuumpressuralarm: digitaler Vakuumpressursensor |
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Spannvorrichtungsmaterial: PPS |
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Spannvorrichtungsmaterial: PPS |
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Cup-Material: PP |
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Cup-Abluftüberwachung: digitaler Drucksensor |
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7 |
Tackerungseinheit |
Menge: 2 |
optional |
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Temperaturbereich: Raumtemperatur~180 ℃ |
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Temperaturgleichmäßigkeit: Raumtemperatur~120 ℃± 0,75 ℃ 120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃ (Entferne 10mm von der Kante, außer beim Auswurfschraubenloch) |
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Mindestanpassungsbetrag: 0,1 ° C |
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Temperaturregelung: PID-Regelung |
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PIN-Höhenbereich: 0-20mm |
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PIN-Material: Gehäuse SUS304, PIN-Auswurfschraube PI |
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Backspalt: 0,2mm |
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Übertemperaturalarm: Alarm bei positiver und negativer Abweichung |
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Versorgungsweise: Blasen, 10 ± 2ml/min |
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Kammerbetrieb Vakuum: -5-20KPa |
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8 |
Heizeinheit |
Menge: 10 |
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Temperaturbereich: Raumtemperatur~250 ℃ |
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Temperaturgleichmäßigkeit: Raumtemperatur~120 ℃± 0,75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Entferne 10mm von der Kante, außer beim Auswurfschraubenloch) |
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Mindestanpassungsbetrag: 0.1 ℃ |
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Temperaturregelung: PID-Regelung |
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PIN-Höhenbereich: 0-20mm |
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PIN-Material: Gehäuse SUS304, PIN-Auswurfschraube PI |
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Backspalt: 0,2mm |
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Übertemperaturalarm: Alarm bei positiver und negativer Abweichung |
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9 |
Kühleinheit |
Menge: 2 |
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Temperaturbereich: 15-25 ℃ |
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Kühlmethode: konstant temperierte Zirkulationspumpenkühlung |
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10 |
Chemikalienversorgung |
Photoresist-Speicher: pneumatischer Klebstoffpumpen * 4 Sets (Optional Tank oder elektrische Klebstoffpumpe) |
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Klebemenge pro Durchgang: maximal 12ml, Genauigkeit ± 0,2ml |
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Randentfernung/Rückspülung/RRC-Versorgung: 18L Drucktank * 2 (automatische Nachfüllung) |
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Flüssigkeitsspiegelüberwachung für Randentfernung/Rückspülung/RRC: Fotoelektrischer Sensor |
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Flüssigkeitsspiegelüberwachung für Photoresist: Fotoelektrischer Sensor |
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Abfuhr von gleichmäßigem Abfallkleber: 10L Abfallflüssigkeitstank |
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Entwickler-Versorgung: 18L Drucktank * 4 (Im Außenchemikalienschrank gespeichert) |
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Deionisierte Wasserversorgung: Direktversorgung vom Werk |
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Entwicklung der Flüssigkeitsspiegelüberwachung: fotoelektrischer Sensor |
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Abwasserabfuhr des Entwicklers: Fabrikabwasserabfuhr |
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Zufuhr des Tackifiers: 10L Drucktank * 1, 2L Drucktank * 1 |
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Spiegelüberwachung des Tackifiers: fotoelektrischer Sensor |
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11 |
kontrollsystem |
Steuerungsart: PLC |
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Mensch-Maschine-Betriebschnittstelle: 17-Zoll-Touchscreen |
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Ununterbrochene Stromversorgung (UPS): Ja |
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Setze Verschlüsselungsrechte für Gerätebetreiber, Techniker, Administratoren |
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Signalturm-Typ: 3 Farben – rot, gelb, grün |
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12 |
Systemzuverlässigkeitsindikatoren |
Betriebszeit: ≥95% |
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MTBF: ≥ 500h |
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MTTR: ≤ 4h |
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MTBA: ≥24h |
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Fragmentierungsrate: ≤ 1/10000 |
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13 |
Andere Aufgaben |
Gelbes Licht: 4 Sets (Position: über der Klebstoff-Misch- und Entwicklungs-Einheit) |
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THC: Ja, 22,5 ℃± 0,5 ℃, 45% ± 2% |
optional |
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FFU: Klasse 100, 5 Sets (Prozessbereich und ROBOT-Bereich) |
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LT
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SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
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