Nome |
Limpa-plasma a vácuo |
Modelo |
MD-10L-RF |
Sistema de Controle |
PLC+ tela sensível ao toque |
Freqüência |
13,56 MHz |
Voltagem |
AC 220V (±10V) monofásico |
Poder |
100-300 W (Ajustável) |
Controle de fluxo de gás |
controle de fluxo de flutuação bidirecional |
Método de Controle |
Métodos automáticos e manuais |
Tamanho da Cava (C*P*H) mm |
250×200×200 |
Material da cavidade |
aço Inoxidável 316 / Liga de Alumínio |
Especificações de Carga (C*P) mm |
175×185 (Um total de três bandejas) |
Tamanho do Equipamento (C*P*H) mm |
600×560×520 |
Volume da cavidade |
10 L |
Grau de vácuo |
30- 100 Pa |
Seletor de Gás |
Ar 、N2 、O2 、Ar 、H2+N2 (Composição Mista) |
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