 
  

| Nome  | Limpa-plasma a vácuo  | 
| Modelo  | MD-10L-RF  | 
| Sistema de Controle    | PLC+ tela sensível ao toque  | 
| Freqüência  | 13,56 MHz  | 
| Voltagem  | AC 220V (±10V) monofásico  | 
| Poder  | 100-300 W (Ajustável)  | 
| Controle de fluxo de gás  | controle de fluxo de flutuação bidirecional  | 
| Método de Controle  | Métodos automáticos e manuais  | 
| Tamanho da Cava (C*P*H) mm  | 250×200×200 | 
| Material da cavidade  | aço Inoxidável 316 / Liga de Alumínio  | 
| Especificações de Carga (C*P) mm  | 175×185 (Um total de três bandejas)  | 
| Tamanho do Equipamento (C*P*H) mm  | 600×560×520 | 
| Volume da cavidade  | 10 L  | 
| Grau de vácuo  | 30- 100 Pa  | 
| Seletor de Gás  | Ar 、N2 、O2 、Ar 、H2+N2 (Composição Mista)  | 

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