A primeira coisa que fazemos é revestir a superfície do material base com um material especial reativo à luz. É um material fotossensível, que desempenha um papel-chave no processo. Em seguida, usamos uma máscara com algum tipo de padrão em sua superfície e a colocamos acima dessa camada. A máscara funciona como um estêncil com buracos que transmitem luz por locais selecionados. Depois, expomos o padrão na máscara à luz UV que não podemos ver. Essa luz cria uma imagem no material fotossensível, de forma semelhante à como a luz solar pode criar uma sombra quando você a direciona através de uma forma recortada. O passo final consiste em mergulhar o substrato em um tipo de solução conhecida como revelador. Esse processo elimina a seção da camada fotossensível exposta à luz e apresenta um padrão no material base.
Em Aparelho de Ligação a Fio uma das partes mais importantes que devem ser controladas são os erros que ocorrem durante as três etapas principais e é muito importante obter resultados bons e precisos. Revestimento a) O revestimento envolve cobrir o material base uniformemente com o material fotossensível. Ou seja, cada peça do material base deve ter a mesma quantidade de ingrediente especial. Em outras palavras, normalmente usamos máquinas para alcançar essa superfície perfeita, reta e nivelada. Durante esta etapa, verificamos a qualidade (sem irregularidades ou defeitos no lado da superfície).
A solução de desenvolvimento é usada para remover a seção exposta do material, criando um padrão durante a etapa 3; desenvolvimento. Mas ainda podemos errar nesta etapa. Não queremos deixar o material na solução por muito tempo e, se nossa solução for muito forte, ela irá corroer o padrão que estamos tentando criar. Portanto, precisamos controlar cuidadosamente o tempo e a concentração da solução de desenvolvimento para obter bons resultados.
O principal benefício de Máquina de ligação a fio é a capacidade de imaginar componentes extremamente pequenos. Isso nos permite produzir partes muito pequenas e de alto desempenho. O método também é muito vantajoso para produção em massa; ele nos permite fabricar muitas peças em um curto período de tempo. Isso é particularmente crucial em indústrias com uma demanda extremamente alta por certo tipo de peças idênticas (como a indústria de fabricação de eletrônicos).
Por outro lado, existem algumas desvantagens também. O alto custo da fotolitografia de alinhador de máscara, tanto em termos das máquinas quanto dos materiais usados para isso, é um dos maiores desafios que vêm com este método. As máquinas podem ser extremamente caras, e precisamos de matérias-primas de alta qualidade, que também custam muito. Além disso, não é possível fazer características menores que, por exemplo, 10 nm com esse tipo de método. Isso é significativo porque frequentemente estamos empurrando o limite na construção de coisas cada vez menores e mais poderosas. Além disso, o processo é extremamente suscetível à contaminação, então deve ser realizado em um ambiente muito limpo (geralmente chamado de sala limpa). Essa exigência pode tornar as coisas um pouco mais complexas e mais caras.
Em áreas que vão da eletrônica à medicina, a fotolitografia de alinhador de máscaras baseia-se em pesquisas e desenvolvimentos fundamentais. A aplicação do SU-8 é absolutamente essencial na indústria eletrônica para fabricação de dispositivos microeletrônicos, como circuitos integrados, sensores e telas. A fabricação dessas estruturas exigiu numerous ferramentas especiais desenvolvidas para realizar esse trabalho, com bons exemplos sendo o alinhador de máscaras EVG(R) e o sistema de junção de disco EVG(R).
Por exemplo, na pesquisa médica, a fotolitografia é usada para construir canais microscópicos para a análise de fluidos corporais; esta tecnologia faz parte do que se chama de laboratório-em-uma-chip. Usando essa tecnologia, os fluidos podem ser analisados rapidamente e com precisão para esclarecer melhor o estado de saúde de um paciente. O uso de um alinhador de máscara na fotolitografia para fabricação de sistemas micro e nanofluidicos também é possível. Se corretos, esses sistemas aumentariam a precisão das dosagens de medicamentos para pacientes, melhorando a eficácia e a segurança dos tratamentos.
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