




Modell |
RYW-ETB05B |
RYW-ETB20 |
RYW-ETB05S |
RYW-ETB05 |
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Ausrichtungspräzision |
±0,5 μm |
±2 μm |
±0,5 μm |
±2 μm |
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Sichtfeld |
0,5×0,3-5,4×4 mm² |
1,2×0,9-14,4×10,8 mm² |
0,5×0,3-5,4×4 mm² |
1,2×0,9-14,4×10,8 mm² |
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Substratgröße |
150 mm/6-Zoll (300 mm/12-Zoll) |
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Chipgröße |
0,1–40 mm |
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Feinverstellung der Achse |
±10° |
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Feinjustierbereich |
2,5×2,5×10 mm Res (0,5 μm) |
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Druckbereich |
0,2–30 N (Option 100 N) |
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Heiztemperatur |
350±1 °C (Option 450 °C) |
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Heiz- und Kühlraten |
Heizen: 1–100 °C/s; Kühlen: >5 °C/s |
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Betriebstemperaturbereich |
100 mm × 200 mm |
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Geräteabmessungen |
L0,7×B0,6×H0,5 m |
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Betriebsart |
Halbautomatisch rotierend |
Manuell Dreh |
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Gerategewicht |
120kg |
100kg<br> |
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