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  • MDXN-25X Hochpräzisions-Einzel-Seiten-Maskenanordner
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MDXN-25X Hochpräzisions-Einzel-Seiten-Maskenanordner

Produktbeschreibung
Diese Anlage ist eine Präzisionslithografie-Maschine, die unser Unternehmen speziell für die Verwendungseigenschaften von Lithografie-Maschinen in verschiedenen Universitäten und Forschungseinrichtungen entwickelt hat. Sie wird hauptsächlich für die Entwicklung und Produktion von Klein- und Mittelintegrierten Schaltungen, Halbleiterkomponenten, Optoelektronikbauelementen und Oberflächenakustikwellenbauelementen verwendet.
MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory
Spezifikation

Haupttechnische Parameter

1. Das Gerät kann ein 5" x 5" quadratisches Maskenstück durch Vakuumsaugen halten, wobei keine besonderen Anforderungen an die Plattenstärke gestellt werden (von 1 bis 3 mm).
2. Das Gerät kann auf einen kreisförmigen Substrat mit ф 100mm angewendet werden;
3. Substratdicke ≤ 5mm;
4. Beleuchtung:
Lichtquelle: Es wird eine GCQ350Z ultra-hochdruck-Mercurius-Direktstromquecksilberlampe verwendet.
Beleuchtungsbereich: ≤ ф 117mm Belichtungsfläche: ф 100mm
innerhalb eines Bereichs von ф 100mm beträgt die Unregelmäßigkeit der Belichtung ≤ ± 3%, und die Belichtungsintensität ist >6mW/cm² (dieses Maß wird mit einer UV-Lichtquelle I-Linie 365nm gemessen).
5. Dieses Gerät nutzt einen importierten Zeitrelais zur Steuerung des pneumatischen Verschlusses, um eine genaue und zuverlässige Operation sicherzustellen.
6. Diese Maschine ist eine Kontaktblitzmaschine, die folgendes erreichen kann:
7. Hartes Kontaktblitzen: Verwenden Sie Rohrvakuum, um einen hohen Vakuankontakt zu erhalten, Vakuum ≤ -0,05MPa
8. Weiche Kontaktausbelichtung: Der Kontaktdruck kann das Vakuum auf zwischen -0,02MPa und -0,05MPa erhöhen.
9. Mikro-Kontaktausbelichtung: weniger als weiche Kontaktausbelichtung, Vakuum ≥ -0,02MPa.
10. Belichtungsauflösung: Die Auflösung der harten Kontaktausbelichtung dieses Geräts kann 1 μ über m erreichen (die Genauigkeit der "Platte" und des "Chips" des Benutzers muss den nationalen Vorschriften entsprechen, und Umgebung, Temperatur, Feuchtigkeit und Staub können streng kontrolliert werden. Importiertes positives Photoresist wird verwendet, und die Dicke des gleichmäßigen Photoresists kann streng kontrolliert werden. Darüber hinaus sind die vorherigen und nachfolgenden Prozesse fortschrittlich).
11. Ausrichtung: Das Beobachtungssystem besteht aus zwei CCD-Kameras, die auf zwei Einrohrmikroskopen montiert sind und durch ein Videosignalkabel mit dem Bildschirm verbunden sind.
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Verpackung & Lieferung
MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier
MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details
Unternehmensprofil
Wir haben 16 Jahre Erfahrung im Geräteverkauf. Wir können Ihnen eine umfassende professionelle Lösung für Halbleiter-Ausrüstungen aus China sowohl für Front- als auch für Back-End-Bereiche bieten.

FAQ

1. Preisinformationen:

Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Komplexität der Anpassung Ihres Geräts.

 

2. Über Stichprobe:

Wir können Ihnen Stichprobenproduktionsdienstleistungen anbieten, Sie müssen jedoch einige Gebühren übernehmen.

 

3. Über die Zahlung

Nach Bestätigung des Plans müssen Sie uns zunächst einen Vorschuss zahlen, und die Fabrik wird beginnen, die Waren vorzubereiten. Wenn das Gerät fertig ist und Sie den Restbetrag bezahlt haben, werden wir es verschicken.

 

4. Über Lieferung:

Nachdem die Fertigung des Geräts abgeschlossen ist, werden wir Ihnen das Akzeptanzvideo senden und Sie können auch vor Ort kommen, um das Gerät zu inspizieren.

 

5. Installation und Feinabstimmung:

Wenn das Gerät in Ihrer Fabrik eintrifft, können wir Ingenieure entsenden, um das Gerät zu installieren und einzustellen. Dafür werden wir Ihnen eine separate Kostenvorabschätzung bereitstellen.

 

6. Über die Garantie:

Unsere Geräte haben eine Garantie von 12 Monaten. Nach Ablauf der Garantieperiode werden wir bei Schäden an Ersatzteilen nur den Kostenpreis verlangen, falls diese ersetzt werden müssen.

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