 
  
| Modell  | MDTS-WT2200  | 
| Anzahl der Dünnachsen  |  2 | 
| Anzahl Werkbänke  | 3, Indexmethode  | 
| Schleifscheibenwelle  | Anzahl der Luftspindeln: 2  Spindelmotor: 7,5 kW Frequenzumrichtermotor Geschwindigkeit: 0~6000 U/min, stufenlos verstellbar Schleifradnorm: Φ203mm Schleifradtyp: Diamantschleifrad | 
| Schleifradfütterungssystem  | Anzahl: 2 Satz  Futtersystem-Steuerungsmethode: LM-Schienen und Kugelgewinde kombination Antriebsmotor: Servomotor Mindestfutterspeed: 0,1um/sec Maximaler Futtergeschwindigkeit: 50mm/sec | 
| Werkbank    | Menge: 3, Indexmodus  Spindelmotor: Servomotor Geschwindigkeit: 0~300rpm, stufenlos verstellbar Aufnahmemethode: Vakuumanziehung | 
| Arbeitsplattform-Drehtisch  | Antriebsart: Servomotor  Drehbereich: 0~240° Positionierungsgestaltung: sensorgestützte Positionierung | 
| Automatische Dicke  messsystem | Messmethode: IPG-Kontakt-Online-Echtzeitmessung  Anzahl der Messköpfe: 2 Messempfänger: Sensor auf 0,1 µm Niveau | 
| Automatisches Laden\/  entladen-System | Box-Typ: 6-8-Zoll-Cassette, 25 Schichten  Methode für automatisches Laden\/Entladen: Mit Wafer-Manipulator, um Schäden an dünnen Wafers zu vermeiden WaferDicke: 150um-1000um | 
| Arbeitsflächenreinigungsfunktion  | Reinigungsmethode: Ölschleifpapierpolitur & DI-Wasser + Luft zweiflüssig spülen  | 
| Automatische Reinigung/  trocknungssystem | Reinigung: DIW Düsenreinigung  Trocknungsmethode: Abblasen + Trocknen Geschwindigkeit: max. 1000rpm stufenlos verstellbar | 
| Statische Eliminierungssystem  | Ionenschwert oder Orion-Lüfter  | 
| Spindelkühler  | Temperatur: 18-22°C  Durchflussrate: 4~8L/min | 
| Kontrollsystem  | Steuerungssystem: PC-Steuerungssystem, Touchscreen mit 3-Farben-Alarmlampe  Chinesisch/Englisch Mensch-Maschine-Schnittstelle | 
| Maximale Waferrgröße  | Maximal kompatibel mit 8 Zoll  | 
| Geschwindigkeitsbereich    | 0~6000 UMD  | 
| Z-Achse Verfahrweg    | 160mm    | 
| Z-Achsen-Zuführgeschwindigkeit  | 0,1~100µm/sec  | 
| Schnellrückfahrgeschwindigkeit der Z-Achse  | 50mm/sec  | 
| Auflösung der Z-Achse  | 0.1um  | 
| Online Dickenmessbereich  | 0~1800µm  | 
| Auflösung der Online-Dickenmessung  | 0.1um  | 


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