MDZY-DMD-MLL200 DMD maskenlose Lithographie-Maschine , China MDZY-DMD-MLL200 DMD maskenlose Lithographie-Maschine Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeschreibung

MDZY-DMD-MLL200
DMD maskenlose Lithographie-Maschine

Die MDZY-DMD-MLL200 ist eine maskenlose Lithographie-Maschine auf Basis der DMD-Technologie (Digital Micromirror Device). Durch die Ersetzung herkömmlicher Masken durch ein DMD ermöglicht sie eine schnelle und flexible Gestaltung von Lithographiemustern und unterstützt 2D- sowie 8-Bit-Graustufenlithographie. Sie kann beliebige Anforderungen an mikronskalierte Lithographie erfüllen und wird weithin in verschiedenen Bereichen wie MEMS und Mikrofluidik eingesetzt.

Merkmale

1. Kompaktes Desktop-Design
2. Hochleistungs-LED-Belichtungsquelle mit hoher Homogenität
3. Grünlichtgeführte Belichtung
4. Automatische Bildfokussierung mithilfe einer CCD-Kamera
5. Hochpräzise Linearmotor-Stage
6. Benutzerfreundliche Software-Oberfläche

Parameter

UV-Lichtquellen-Zentralwellenlänge	405nm
Belichtungsgleichmäßigkeit	Mehr als 90 %
Minimale Strukturbreite	0,5 µm
Belichtungsfläche bei einpassigem Schreiben	0,16 × 0,16 mm (@0,5 µm)
Schreibgeschwindigkeit	80 mm²/min (1 µm Linienbreite)
Unterstützte Bildformate	DXF, GDS, bmp, png, etc.

Konfiguration

Konfiguration	Basisversion	Professionelle Version
Lichtquelle<br>	Hochleistungs-LED: 405 nm
DMD-Chip	DLP6500
Einzelbelichtungsbereich	0,160,16 mm (@0,5 µm), 0,40,4 mm (@0,7 µm), 0,80,8 mm (@1 µm), 1,61,6 mm (@2 µm)
KAMERA	Mikroskopkamera mit großer Fläche (unterstützt Größenmessung)
Minimale äquidistante Linienbreite	0,8 µm	0.5μm
Verkettungsngenauigkeit	±0,3 µm	±0,3 µm
Überlagerungsgenauigkeit	±0,5 µm	±0,5 μm
Schreibgeschwindigkeit	20 mm²/min (1 µm Strukturlinienbreite)	80 mm²/min (1 µm Strukturlinienbreite)
Bewegungsstufe	Hochpräziser Linearmotor (wiederholbare Positioniergenauigkeit ±0,25 µm), Nivelliermechanismus, manuelle Drehtischstufe	Hochpräziser Linearmotor (wiederholbare Positionierungsgenauigkeit ±0,25 µm), Nivelliermechanismus, elektrische Drehtischvorrichtung
Objektivwechsler	Manueller Objektivwechsel	Motorisierter Objektivwechsel
Fokussiermodul	CCD-Bild-Autofokus	Laseraktives Fokussieren
Unterstützte Wafergrößen	4 Zoll	4-Zoll/8-Zoll
Probendicke	0-10mm	0–10 mm

Anwendungsfälle

Mikrofluidik-Chip

DMD-UV-Lithografie für Overlay-Funktionalität

Ätzen von Tellur-Nanogittern gefolgt von Elektroden-Overlay

Graustufen-Lithografie von Fresnel-Linsen, 3D-Graustufen-Lithografie für Fresnel-Linsen, die kontinuierliche Stufenänderungen im Querschnittsbild aus dem Rasterelektronenmikroskop zeigen

Elektroden aus zweidimensionalen Materialien, Elektroden aus zweidimensionalen Materialien nach Verdampfung und Abheben, verdampfte Elektroden bestehen aus Ti/Au/Ti (insgesamt 12 nm)

Kombinierte DMD-UV- und Elektronenstrahllithografie

Software

Benutzer können alle Lithografie-Operationen über die Hauptoberfläche abschließen, ohne dass Pop-up-Fenster angezeigt werden.

Bildausschnittmodul:

Beinhaltet Funktionen wie benutzerdefiniertes Zuschneiden, automatisches Auffüllen, Farbinvertierung und Kantenglättung.

Objektbindung:

Benutzer können Objektbindungen an beliebigen Stellen auf der Probenoberfläche festlegen und gleichzeitig die Zuordnung zwischen einem beliebigen Teilbild im Vollfeldbild und der Probenoberfläche vorab anzeigen lassen, wodurch eine präzise Überlagerung ermöglicht wird.

Echtzeit-Zeichnungsfunktion:

Grafiken können direkt auf das Mikroskopiebild gezeichnet und auf die Probe projiziert werden, um eine in-situ-Photolithographie zu realisieren.

Equipment Real Shoots

Verpackung & Lieferung

Unternehmensprofil

Seit 2014 ist Minder-Hightech Vertriebs- und Servicepartner in der Halbleiter- und Elektronikproduktindustrie. Wir sind bestrebt, unseren Kunden Superior, Reliable und One-Stop-Lösungen für Maschinen- und Anlagentechnik anzubieten. Bis heute haben sich die Produkte unserer Marke in die wichtigsten industrialisierten Länder der Welt ausgebreitet und helfen unseren Kunden dabei, die Effizienz zu steigern, Kosten zu senken und die Produktqualität zu verbessern.

FAQ

1. Preisinformationen:
Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Komplexität der Anpassung Ihres Geräts.

2. Über Stichprobe:
Wir können Ihnen Stichprobenproduktionsdienstleistungen anbieten, Sie müssen jedoch einige Gebühren übernehmen.

3. Über die Zahlung:
Nach Bestätigung des Plans müssen Sie uns zunächst einen Vorschuss zahlen, und die Fabrik wird beginnen, die Waren vorzubereiten. Wenn das Gerät fertig ist und Sie den Restbetrag bezahlt haben, werden wir es verschicken.

4. Über Lieferung:
Nachdem die Fertigung des Geräts abgeschlossen ist, werden wir Ihnen das Akzeptanzvideo senden und Sie können auch vor Ort kommen, um das Gerät zu inspizieren.

5. Installation und Feinabstimmung:
Wenn das Gerät in Ihrer Fabrik eintrifft, können wir Ingenieure entsenden, um das Gerät zu installieren und einzustellen. Dafür werden wir Ihnen eine separate Kostenvorabschätzung bereitstellen.

6. Über die Garantie:
Unsere Geräte haben eine Garantie von 12 Monaten. Nach Ablauf der Garantieperiode werden wir bei Schäden an Ersatzteilen nur den Kostenpreis verlangen, falls diese ersetzt werden müssen.

7. Kundendienst:
Alle Maschinen haben eine Garantiezeit von über einem Jahr. Unsere technischen Ingenieure stehen Ihnen stets online zur Verfügung, um Ihnen bei der Installation, Inbetriebnahme und Wartung Ihrer Geräte zu helfen. Für spezielle und große Anlagen können wir vor Ort Installation und Inbetriebnahme anbieten.

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MDZY-DMD-MLL200 DMD maskenlose Lithographie-Maschine

MDZY-DMD-MLL200
DMD maskenlose Lithographie-Maschine

Merkmale

Bildausschnittmodul:

Objektbindung:

Echtzeit-Zeichnungsfunktion:

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