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  • MDSY-TCB30 Thermische Kompressionsbondanlage
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MDSY-TCB30 Thermische Kompressionsbondanlage

Produktbeschreibung

MDSY-TCB30 Thermische Kompressionsbondanlage

Die Anlage verfügt über die Funktion des Bondens von Flip-Chip-Goldverbindungen (und anderen Materialien), wodurch die Anforderungen an das Heiß-Druck-Bonden und Ultraschallbonden erfüllt werden können.
1. Diese Maschine ist eine hochpräzise Flip-Chip-Bondanlage für Chips und Substrate.
2. Die in Trays eingelegten Substrate werden mittels Saugkopf auf die Montagestufe gesetzt.
3. Nach dem Aufnehmen und Wenden der Chips werden diese zum Montagekopf transportiert und führen optional ein Flux-Tauchverfahren durch.
4. Korrigiert die Chipposition mithilfe der Bilderkennung und führt anschließend das Heißbonden durch.
5. Unterstützt ebenfalls Ultraschallbonden; Eutektisches Bonden ist optional.
6. Unterstützt auch Standardbondverfahren, bei denen keine Erhitzung und Druckbeaufschlagung erforderlich sind.

Verschiedene Funktionen:

1. Stellt die Parallelität mit dem automatischen Nivelliermechanismus ein, die Parallelität beträgt weniger als 5 μm im Bereich von 30×30 [mm].
2. Die Parallelität kann manuell bis auf 1 μm justiert werden.
3. Automatisches Flussmittel-Tauchverfahren aus dem Flussbad ist möglich. Die Flussmittelschichtdicke kann für die jeweilige Arbeit eingestellt werden, und die Oberfläche wird bei jedem Vorgang durch eine Rakel geebnet.
rakel in jedem Fall geebnet.
4. Zum eutektischen Bonden wird eine Spülvorrichtung mit reduzierendem Gas (N2, N2+H2 usw.) verwendet.
5. ID-Lesegerät zur Erfassung der Tray-ID, Werkstück-ID usw. zur Aufzeichnung des Produktionsstatus.
6. Der Tisch verfügt über eine Vakuum-Saugfunktion.
7. Aufzeichnung der Bondprozessparameter wie Arbeitsdruckkurve, Temperaturkurve, Ultraschallvibrationspunkt, Ultraschalldruck und andere bei jedem Bondvorgang möglich.
8. Automatische Zuführung der Werkstücke.

Montagegenauigkeit:

Flip-Chip-XY: ±0,5 [μm] * φ8 [Zoll] Bereich (3σ)
1. Verwenden Sie eine spezielle Prüfvorrichtung bei Raumtemperatur. (XY-Position)
Gemessen mit der Ausrichtungskamera der Maschine.
2. Unter Reinraumbedingungen, Raumtemperatur 23±2 [℃], Luftfeuchtigkeit 40 bis 60 [%]
3. Die Genauigkeit gilt, wenn kein Ultraschallkopf und keine Ultraschallkraft angewendet werden.
Spezifikation
Chipmaterial
Si und andere
Chipgröße
dicke 0,3–30 mm: 0,05–1,0 [mm]
Zufuhrmethoden
2,4-Zoll-Tray (Waffeltray, Gel-Pak, Metalltray usw.)
Substratmaterial
SUS, Cu, Si, Werkstück, Keramik und andere
Tablettenmengen
2-Zoll-Tablett bis zu 8 oder 4-Zoll-Tablett bis zu 2; Tablett kann frei für Chip oder Substrat eingestellt werden.
Äußere Abmessung des Substrats
15~50 [mm] & 8 [Zoll] Wafer
Substratdicken
Flach geformte Basisplatte 0,1~3,0[mm];
Rohrförmige Bodenplatte: A:0,1~2[mm] B:≤5[mm], C:≤7[mm]
Mindestabstand vom Chip zur Innenwand der Dose D: 21 mm
UPH
Ca. 12 [Sek/zyklus] [Bedingungen der Zykluszeit]
Montagekopf-Antriebsabschnitt
Z-Achse
Auflösung
0,1[μm]
Bewegungsbereich
200[mm]
Geschwindigkeit
Max. 250[mm/sec]
θ-Achse
Auflösung
0,000225[°]
Bewegungsbereich
±5[°]
Chiphaltung
Vakuumsaugmethode
Rezepturwechsel
ATC (automatischer Werkzeugwechsler) Methode Maximale Anzahl der zu wechselnden Spannmittel: 20x20[mm] 6 Typen *2 Typen bei 30x30[mm] (Option)
verwendet.
Druckbelastungsbereich:
Einstellbereich
Niedriger Lastbereich: 0,049 bis 4,9[N] (5 bis 500[g])
Hoher Lastbereich: 4,9 bis 1000 [N] (0,5 bis 102 [kg])
* Eine Lastregelung, die beide Bereiche abdeckt, ist nicht möglich.
* Ultraschallhorn nur für den Hochlastbereich
Druckgenauigkeit
Niedriger Lastbereich: ±0,0098 [N] (1 [g])
Hoher Lastbereich: ±5 [%] (3σ)
* Beide Genauigkeiten beziehen sich auf die tatsächliche Last bei RT
Montagekopf Impulsheizabschnitt
Heizmethode
Impulsheizverfahren (Keramikheizung)
Eingestellten Temperaturen
RT~450 [°C] (1 [°C] Schritt)
Temperaturanstiegsgeschwindigkeit
Max80[°C/sec] (ohne Keramikhalter)
Temperaturverteilung
+5[°C] (30x30[mm] Bereich)
Kühlungsfunktion
Mit Heizwerkzeug, Arbeitskühlungsfunktion
Ultraschallsonotrode Abschnitt
Schwingungsfrequenz
40[kHz]
## Vibrationbereich
Ungefähr 0,3 bis 2,6[µm]
Heizmethode
Konstante Heizmethode (Ultraschallsonotrode)
Eingestellten Temperaturen
RT~250[°C] (1[°C] Schritt)
Werkzeuggröße
M6 Werkzeugwechseltypen (Schraubtyp)
*Muss auf den starren Typ für Chipgrößen über 7x7 [mm] geändert werden.
Sonstige
Muss durch Impulswärme-Kopf ersetzt werden.
Keramikheizung für Montagestufe 1
Montagefläche
50×50 [mm]
Heizmethode
Ceramic Heater
Eingestellten Temperaturen
RT~450 [°C] (1 [°C] Schritt)
Temperaturverteilung
+5[°C]
Temperaturanstiegsgeschwindigkeit
Max. 70[°C/s] (ohne Keramikvorrichtung)
Kühlungsfunktion
Verfügbar
Arbeitsstückhaltung
Vakuumsaugmethode
Rezepturwechsel
Vorrichtungswechsel
Konstantheizung für Montagestufe 2
XY-Stufe
Konstantheizung
Stufe für Hauptbonding
Montagefläche
200×200 [mm] (48 [Zoll] Fläche)
Heizmethode
Konstante Wärme
Eingestellten Temperaturen
200×200 [mm]: RT bis 250[°C] (1[°C] Schritt)
Temperaturverteilung
±5 % (200×200 [mm])
Arbeitsstückhaltung
Vakuumsaugmethode
Rezepturwechsel
Vorrichtungswechsel
Verpackung & Lieferung
Unternehmensprofil
Seit 2014 ist Minder-Hightech Vertriebs- und Servicepartner in der Halbleiter- und Elektronikproduktindustrie. Wir sind bestrebt, unseren Kunden Superior, Reliable und One-Stop-Lösungen für Maschinen- und Anlagentechnik anzubieten. Bis heute haben sich die Produkte unserer Marke in die wichtigsten industrialisierten Länder der Welt ausgebreitet und helfen unseren Kunden dabei, die Effizienz zu steigern, Kosten zu senken und die Produktqualität zu verbessern.
FAQ
1. Preisinformationen:
Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Komplexität der Anpassung Ihres Geräts.

2. Über Stichprobe:
Wir können Ihnen Stichprobenproduktionsdienstleistungen anbieten, Sie müssen jedoch einige Gebühren übernehmen.

3. Über die Zahlung:
Nach Bestätigung des Plans müssen Sie uns zunächst einen Vorschuss zahlen, und die Fabrik wird beginnen, die Waren vorzubereiten. Wenn das Gerät fertig ist und Sie den Restbetrag bezahlt haben, werden wir es verschicken.

4. Über Lieferung:
Nachdem die Fertigung des Geräts abgeschlossen ist, werden wir Ihnen das Akzeptanzvideo senden und Sie können auch vor Ort kommen, um das Gerät zu inspizieren.

5. Installation und Feinabstimmung:
Wenn das Gerät in Ihrer Fabrik eintrifft, können wir Ingenieure entsenden, um das Gerät zu installieren und einzustellen. Dafür werden wir Ihnen eine separate Kostenvorabschätzung bereitstellen.

6. Über die Garantie:
Unsere Geräte haben eine Garantie von 12 Monaten. Nach Ablauf der Garantieperiode werden wir bei Schäden an Ersatzteilen nur den Kostenpreis verlangen, falls diese ersetzt werden müssen.

7. Kundendienst:
Alle Maschinen haben eine Garantiezeit von über einem Jahr. Unsere technischen Ingenieure stehen Ihnen stets online zur Verfügung, um Ihnen bei der Installation, Inbetriebnahme und Wartung Ihrer Geräte zu helfen. Für spezielle und große Anlagen können wir vor Ort Installation und Inbetriebnahme anbieten.

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