Modell: MDST-6100
Der ICP-Trockenplasma-Asher eignet sich für Anwendungen wie Descumming (Vorbehandlung und Rückstandsentfernung), Polymerentfernung (PI, BCB, PBO) sowie Photoresistentfernung nach Ionenimplantation; die Kammer nimmt 8-Zoll-Proben auf (mit Kompatibilität für 4-Zoll- und 6-Zoll-Größen).
ICP-Trockenplasma-Fotolackentferner
Der ICP-Trockenplasma-Asher eignet sich für Anwendungen wie Descumming (Vorbehandlung und Rückstandsentfernung), Polymerentfernung (PI, BCB, PBO) sowie Photoresistentfernung nach Ionenimplantation; die Kammer nimmt 8-Zoll-Proben auf (mit Kompatibilität für 4-Zoll- und 6-Zoll-Größen).
Das Erscheinungsbild der Anlage unterliegt ständigen Verbesserungen und Anpassungen; das tatsächlich ausgelieferte Produkt ist maßgeblich.
Vorteile:
Hoher Grad an Plasmaionisierung und -zerlegung
Nach der Plasmabehandlung ist die Reproduzierbarkeit hoch
Trockenätzen, keine Verschmutzungsquelle
Druck und Temperatur werden über Schmetterlingsventile gesteuert
Kann Plasma bei hohem Druck aufrechterhalten
Trennung von Hochspannungsquelle und Iongenerator
Mikrowellenverbindung und Magnetkreis sind kompatibel
Kann Kundenanforderungen erfüllen
Niedrige Temperatur während der Verarbeitung
Schnelle Reaktionsgeschwindigkeit und kurze Reaktionszeit
Modell |
MDST6100 |
Plasmaquelle |
funkfrequenz |
leistung |
1000 W |
Anwendungsbereich |
8 Zoll (kompatibel mit 4 oder 6 Zoll) |
Boxgröße |
25 Stücke |
Gesamtabmessungen |
L1696xB2170xH2146 mm |
Systemsteuerung |
PLC |
Materialbox-System |
Automatisch |
Tatsächliche Fotos der Ausrüstung:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
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