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  • (AOI) 2D- und 3D-Inspektionssystem für Wafer
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(AOI) 2D- und 3D-Inspektionssystem für Wafer

Automatische optische Inspektion (AOI)

Wafer-2D- und 3D-optisches Inspektionssystem

Produktbeschreibung

Wafer 2D&3D Optisch Inspektion AOI-System

Einführung in die Hauptmodule

EFEM:

1. Manuelle Einlagerung von 12-Zoll-FOUPs oder 8-Zoll-Kassetten an die Ladeposition
2. Doppelt-armiges Design zur Reduktion der Wartezeit beim Wechseln der Wafers.
3. Kompatibel mit 8-Zoll- und 12-Zoll-Produkt-Ausrichtung und kann auch für 6-Zoll-Wafers angepasst werden.

STAGE:

1. Flugzeit-Erfassung für die Bildakquisition und -prüfung.
2. In der Lage, 3D-Informationen wie Bump-Höhe und Koplanarität zu erkennen.
3. Erreicht Sub-Mikron-Genauigkeit.
4. Berechnungsergebnisse sind sofort nach dem Scannen verfügbar.
Spezifikation
Projekt
Inhalt
Produkttyp
6",8",12" Wafer, 2.5D/3D Verpackung
2D-Inspektion
Artikel
Fremdkörper, verbliebener Klebstoff, Partikel, Kratzer, Risse, Verschmutzungen, CP-Abweichungen, übermäßige Nadelmarkierungen usw.
2D-Metrologie
Bump-Durchmesser, Nadelmarkierungskoordinaten, RDL- und TSV-Metrologie usw.
3D-Inspektionsprojekt
Sprung Höhe, Sprung Coplanarität
Kassette & Übertragungsverfahren
8"SMIF , 12" FOUP oder Kombination
Linse und Auflösung
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
Präzision
0.55um/Pixel
Optional und angepasst
Doppelseitige OCR, 3D-Modul, unterstützt durch E84

Software-Einführung

1. Unterstützt mehrstufige Berechtigungen und Protokollfunktionen für Berechtigungsoperationen
2. Die Ausrüstungsmenüleiste umfasst eine Vielzahl von Funktionen.
3. Erstellt automatisch Kartierungs- und Produktionsberichte.
4. Zeigt den Aufgabenstatus in Echtzeit an.
5. Kombiniert traditionelle Algorithmen mit KI für schnell und genaue Fehlererkennung.
erkennung.
Verpackung und Lieferung
Häufig gestellte Fragen
1. Preisinformationen:
Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Komplexität der Anpassung Ihres Geräts.

2. Über Stichprobe:
Wir können Ihnen Stichprobenproduktionsdienstleistungen anbieten, Sie müssen jedoch einige Gebühren übernehmen.

3. Über Zahlung:
Wenn der Plan bestätigt ist, müssen Sie uns zuerst einen Anzahlbetrag zahlen und die Fabrik wird beginnen, die Waren vorzubereiten. Nachdem die
ausrüstung bereitsteht und Sie den Restbetrag bezahlt haben, werden wir sie verschicken.

4. Über Lieferung:
Nachdem die Fertigung des Geräts abgeschlossen ist, werden wir Ihnen das Akzeptanzvideo senden und Sie können auch vor Ort kommen, um das Gerät zu inspizieren.

5. Installation und Feinabstimmung:
Wenn das Gerät in Ihrer Fabrik eintrifft, können wir Ingenieure entsenden, um das Gerät zu installieren und einzustellen. Dafür werden wir Ihnen eine separate Kostenvorabschätzung bereitstellen.

6. Über die Garantie:
Unsere Geräte haben eine Garantie von 12 Monaten. Nach Ablauf der Garantieperiode werden wir bei Schäden an Ersatzteilen nur den Kostenpreis verlangen, falls diese ersetzt werden müssen.

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