15-L-Vakuum-Plasmareinigungsmaschine

Sie besteht aus einer Ionen-Stromversorgung, einem Vakuumsystem, einem Gasfüllsystem, einem automatischen Steuerungssystem und anderen Komponenten. Das grundlegende Arbeitsprinzip besteht darin, dass das Plasma im Vakuumzustand das Gas auf kontrollierte und gezielte Weise ionisieren kann. Mit Hilfe einer Vakuumpumpe wird die Bearbeitungskammer auf ein Vakuum von 10–40 Pa evakuiert; anschließend wird das Gas durch einen Hochfrequenzgenerator ionisiert und bildet so Plasma (den vierten Aggregatzustand der Materie). Ein charakteristisches Merkmal ist die hohe Gleichmäßigkeit der Glühdrahtentladung; je nach verwendeter Gasart emittiert das Plasma sichtbares Licht in Farben von Blau bis Tiefviolett. Die Verarbeitungstemperatur des Materials liegt nahe bei Raumtemperatur. Diese hochreaktiven Teilchen interagieren mit der zu behandelnden Oberfläche und bewirken verschiedene Oberflächenmodifikationen wie z. B. Hydrophilie, Wasserabweisung, geringe Reibung, hohe Reinigungswirkung, Aktivierung und Ätzen.
Vorteile der Plasma-Behandlung: 1. Umweltschonende Technologie: Der Plasma-Prozess ist eine gas-feste, kohärente Reaktion, die keine Wasserressourcen verbraucht, keine Chemikalien erfordert und die Umwelt nicht belastet. 2. Vielseitigkeit: Unabhängig von der Art des zu behandelnden Substrats – beispielsweise Metalle, Halbleiter, Oxide und die meisten Polymerwerkstoffe – lässt sich dieses gut bearbeiten. 3. Niedrige Temperatur: Nahe Raumtemperatur, besonders geeignet für Polymerwerkstoffe; längere Lagerzeit und höhere Oberflächenspannung im Vergleich zu Corona- und Flammenverfahren. 4. Starke Funktionalität: Beschränkt sich ausschließlich auf die oberflächennahe Schicht des Polymermaterials (10–1000 Å) und verleiht diesem dadurch eine oder mehrere neue Funktionen, ohne dessen eigene Materialeigenschaften zu beeinträchtigen. 5. Geringe Kosten: Die Anlage ist einfach aufgebaut, leicht zu bedienen und zu warten sowie für den Dauerbetrieb geeignet. Oft reichen wenige Gasflaschen aus, um Tausende Kilogramm Reinigungsflüssigkeit zu ersetzen; die Reinigungskosten liegen daher deutlich unter denen einer Nassreinigung. 6. Vollständig kontrollierbarer Prozess während des gesamten Verfahrens