Высокоточная машина для прикрепления кристаллов

Описание:

1. Станция LF
2. загрузка магазина ；
3. смена магазина без остановки ；
4. в магазине содержится количество: 3 шт. ；
5. Дозирующая станция LF: опциональный кольцевой дозатор и штамповый дозатор ；

Станция захвата матрицы рычажным манипулятором 1:

1. Вращающийся механизм с высокоточным фонарём и серводвигателем мощностью 2000 Вт, поворот на 180 градусов, регулировка давления присоски
2. точность установки матрицы: < ±25 мкм> ；
3. точность угла установки матрицы: < ±3°> ；
4. контроль отсутствия матрицы.

Станция кремниевой пластины 1:

поддержка пластин диаметром 12 дюймов; допустимый диаметр пластин — 8 дюймов ；

функция автоматического расширения пластины ；

Проверка и позиционирование пластины системой CCD ；

автоматическая коррекция угла кремниевой пластины. 。

Станция коррекции:

1. использование линейного двигателя и высокоточной штриховой разметки для обеспечения точности.
2. вращение осуществляется с помощью 5-фазного двигателя

Линейная станция захвата и установки кристаллов 2:

1. линейный метод захвата и установки кристаллов, регулируемое давление;
2. точность установки матрицы: < ±15 мкм~ ±25 мкм>
3. точность угла штампа: < ±1°>
4. контроль отсутствия матрицы.

Квитанция:

1. приёмный магазин с возможностью штабелирования ；
2. непрерывная работа при приёме.

Базовая функция ：

1. операционная система: Windows 7
2. интерфейс ：Китайский и английский
3. время цикла ：720 шт./мин (макс.) ≥5K
4. точность позиционирования по всей длине ：±15 мкм~ ±25мкм
5. угловое положение по всей длине ：±1°
6. размер умира ：1мм*1мм ～10 мм * 10 мм
7. Размер LF ：длина ≤ширина 260 мм ≤80 мм²
8. мощность ：220В ±10 В ，50 Гц, 700 Вт
9. воздушный （давление ）：5～6 кгс/см²

Функция:

1. функция проверки отсутствия кристаллов
2. программа без ограничения количества хранимых записей
3. внешняя система ИБП
4. встроенный вакуумный насос
5. с функцией построения карты
6. проверка качества прикрепления кристаллов
7. функция обратной проверки
8. габаритные размеры Д×Ш×В: 2200 мм × 1400 мм × 1600 мм （）
9. Масса: 1500 кг

Станция захвата ：

1. инструмент захвата ：захват с поверхности
2. свинг-арм ：180°роторный
3. давление захвата ：20g ～200 г

Станция приклейки кристаллов ：

1. головка ：сдвижные ，устройство поверхностного монтажа
2. сторона приклейки кристаллов ：линейное перемещение
3. давление приклейки кристаллов ：20g ～200 г
4. станция для обработки пластины ：максимальный ход: 12″ × 12″ (325 мм × 325 мм)
5. повторяемость точности ：±2 мкм
6. ход выталкивателя: 3 мм (макс.)

Линейная система крепления кристаллов ：повторяемость точности ：±2 мкм

Система дозирования:

1. двойная система дозирования
2. система загрузки и выгрузки
3. журнал
4. максимальный размер рамки выводов ：80 мм ×260мм