Modelo |
MD-FXY12 Pequeno tamanho ion sputter coater |
Câmara de vácuo |
ф100mm*L130mm |
Palco de amostras |
ф40mm (6 células de amostra ao mesmo tempo) |
Alvo de revestimento a ouro |
ф57mm |
Medidor de vácuo |
Pirani |
Bomba de Vácuo |
Rotação de bombas de pá: 2L / s |
Ponto de proteção contra vácuo |
20Pa |
Gás de trabalho |
Ar ou Ar com ajuste micro |
Voltagem de espalhamento |
1.6KV |
Peso líquido |
20kg+40kg |
Conformidade |
CE |
Host MD-FXY12 |
1 Conjunto |
Bomba mecânica |
1 Conjunto |
linha-de-bomba |
1 |
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