Instrumento de Revestimento por Magnetron de Alvo Único Planetário
Introdução: Este equipamento é um instrumento de revestimento por magnetron planetário de bancada, com alvo único. A metade inferior da câmara é constituída por estrutura de aço inoxidável, e a parte superior é feita de quartzo de alta pureza. O projeto leva em consideração tanto o desempenho sob vácuo quanto a funcionalidade de acomodar estágios de amostras complexos. O equipamento possui formato de bancada, reduzindo significativamente os requisitos de espaço para instalação. Ele é equipado com uma fonte de alimentação CC e pode ser utilizado para pulverização catódica (sputtering) de metais e outros materiais condutores. O sistema de vácuo do equipamento emprega um conjunto de bombas turbomoleculares, que oferece alta velocidade de bombeamento, elevado grau de vácuo final e excelente desempenho sob vácuo. Este equipamento apresenta estrutura compacta, funções completas e facilidade de operação, sendo muito adequado para diversos ensaios de revestimento.
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