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Unidade principal de plasma de vácuo (60)
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Tamanho do Equipamento
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L 950×W 900×H 1650mm
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peso
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350 kg
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Fornecimento de energia sob demanda
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AC380V, 50/60Hz, 5 fios, 16A (tipo aberto total acima de C)
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Especificações do gerador de plasma
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poder
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frequência de Rádio
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frequência intermediária
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0~600W
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0-1000W
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frequência de fornecimento
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13,56 MHz
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40 K Hz
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Sistema de vácuo
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bomba de Vácuo
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Bomba rotativa de duas etapas (bomba de óleo): 40m3/h
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linha de vácuo
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Linha totalmente de aço inoxidável, bem como mangueiras de vácuo de alta resistência
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qualidade do Material
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Ligação de alumínio (cavidade de aço inoxidável personalizável)
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espessura
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25mm
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hermeticidade
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Selagem por solda de grau militar
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Dimensões internas da cavidade
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375*375*430mm (largura * altura * profundidade)
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Tamanho efetivo da placa elétrica
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247*281mm (largura * profundidade)
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Espaçamento do espaço disponível
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22mm
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Arranjo de eletrodo
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Layout horizontal, pode ser extração ativa
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bandejas
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Conjunto padrão, material opcional (alumínio, malha de aço)
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espaço de Trabalho
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6 Camadas
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gás de processo
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Faixa de fluxo
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0~300SCCM
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Rota do gás de processo
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Padrão com duas vias, pode ser personalizado. O gasoduto de gás de processo é feito de ferroflon
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navar
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SC
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PLC
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modo interativo
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tela Tátil de 7 polegadas
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