Unidade principal de plasma de vácuo (100) |
||
Tamanho do Equipamento |
L 1000×W 900×H 1750mm |
|
peso |
500kg |
|
Fornecimento de energia sob demanda |
AC380V, 50/60Hz, 5 fios, 25A (tipo aberto total acima de C) |
|
Especificações do gerador de plasma |
||
poder |
frequência de Rádio |
frequência intermediária |
0~600W |
0-1000W |
|
frequência de fornecimento |
13,56 MHz |
40 K Hz |
Sistema de vácuo |
||
bomba de Vácuo |
Bomba rotativa de vácuo (bomba de óleo): 60 m3/h |
|
linha de vácuo |
Linha totalmente de aço inoxidável, bem como mangueiras de vácuo de alta resistência |
|
qualidade do Material |
alufer |
|
espessura |
25mm |
|
hermeticidade |
Selagem por solda de grau militar |
|
Dimensões internas da cavidade |
450*450*500mm(Largura* altura * profundidade) |
|
Tamanho efetivo da placa elétrica |
322*351mm (largura *profundidade) |
|
Espaçamento do espaço disponível |
20mm |
|
Arranjo de eletrodo |
Placa de eletrodo horizontal |
|
bandejas |
Conjunto padrão, material opcional (alumínio, malha de aço) |
|
espaço de Trabalho |
8 camadas |
|
gás de processo |
||
Faixa de fluxo |
0~300SCCM |
|
Rota do gás de processo |
Padrão com duas vias, pode ser personalizado. O gasoduto de gás de processo é feito de ferroflon |
|
navar |
||
SC |
PLC |
|
modo interativo |
tela Tátil de 7 polegadas |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved