Máquina de Litografia de Alinhador de Máscara , China Máquina de Litografia de Alinhador de Máscara Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrição dos Produtos

Máquina de Litografia de Alinhador de Máscara

Alinhador de Máscara Também conhecido como: máquina de alinhamento de máscara de exposição, sistema de exposição, sistema de litografia, etc., é o equipamento central para fabricação de chips. Ele utiliza uma tecnologia semelhante à impressão fotográfica para imprimir padrões finos na máscara sobre a wafer de silício por meio de exposição à luz.

Característica

—— Alta uniformidade cabeça de exposição fly-eye / mecanismo de nivelamento por flutuação de ar / confiável fixação por vácuo para exposição.
——Os recursos acima garantem alta resolução e alta uniformidade.
——O método de alinhamento por máscara mantém estabilidade e alimentação do substrato, o que garante a consistência da gravidade do guia e da força.
——Usando guia reta sem lacunas, alta precisão, velocidade rápida.

Para fabricar um sistema de alinhamento de alta precisão, é necessário ter praticamente um processo mecânico de precisão perfeito. Outro problema técnico do sistema de alinhamento é o microscópio de alinhamento. Para ampliar o campo de visão do microscópio, muitas máquinas de litografia de alta gama utilizam iluminação LED. Existem dois conjuntos de sistemas de alinhamento com função de foco. Ele é composto principalmente por dois olhos e dois campos de visão direcionados ao corpo principal do microscópio, um par de ocular e um par de lentes objetivas (a máquina de litografia geralmente fornece ocular e objetiva com diferentes aumentos para os usuários).
a função do sistema de alinhamento CCD é ampliar as marcas de alinhamento da máscara e da amostra e exibi-las no monitor.

Especificações

Fabricante	Minder-Hightech	Minder-Hightech	Minder-Hightech	Minder-Hightech
Modelo	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31	MD-G33
Cabeça de exposição NÃO.	1 Cabeça de exposição	1 Cabeça de exposição	2 Cabeças de exposição	2 Cabeças de exposição
Tipo de fonte de luz	Fonte de lâmpada de mercúrio	Fonte de luz ultravioleta	Fonte de lâmpada de mercúrio	Fonte de luz ultravioleta
Área de exposição	≤∅100mm	φ100 mm	≤∅120mm	≥∅115mm
Modo de exposição	Contato por exposição	tecnologia de paralelismo de micro-força	tecnologia de paralelismo de micro-força	tecnologia de paralelismo de micro-força
Irregularidade de exposição	∅100mm<±4%	≤ ± 3%	∅100mm≤±6%	≤±3% Intensidade de exposição ≥20mw/cm2 (365nm, 404nm, 435nm UV combinado
Espessura do substrato	1-5mm	≤5 mm	0,1-1mm	≤5 mm
Resolução de exposição	3 μm	1 μm	5 μm	1 μm
Alcance de iluminação	∅115mm	∅120mm	∅120mm	∅130mm
Sistema de Câmera	Sistema de separação binocular	sistema CCD de duplo campo	sistema CCD de duplo campo	sistema CCD de duplo campo
Sistema de microscópio	zoom contínuo 50-375	zoom contínuo 91x ~ 570X (lente objetiva com zoom contínuo 1.6x ~ 10x), o intervalo ajustável da distância entre as lentes objetivas duplas é 50mm ~ 120mm	0,7-4,5 zoom contínuo	60x, 120x zoom contínuo (ampliação objetiva 2x, 4x duas), distância ajustável dupla objetiva 25mm-70mm

Perfil da Empresa

Minder-Hightech é representante de vendas e serviço na indústria de equipamentos de produtos eletrônicos e semicondutores. Desde 2014, a empresa está comprometida em fornecer aos clientes Soluções Completas, Superiores e Confiáveis para equipamentos.

Perguntas frequentes

1. Sobre o Preço:
Todos os nossos preços são competitivos e negociáveis. O preço varia dependendo da configuração e da complexidade da personalização do seu dispositivo.

2. Sobre a Amostra:
Podemos fornecer serviços de produção de amostras para você, mas pode ser necessário pagar algumas taxas.

3. Sobre Pagamento:
Após a confirmação do plano, você precisa nos pagar um depósito primeiro, e a fábrica começará a preparar os produtos. Após o equipamento estar pronto e você pagar o saldo, enviaremos.

4. Sobre Entrega:
Após a conclusão da fabricação do equipamento, enviaremos a você o vídeo de aceitação e você também pode vir ao local para inspecionar o equipamento.

5. Instalação e Ajuste:
Após a chegada do equipamento na sua fábrica, podemos enviar engenheiros para instalar e depurar o equipamento. Faremos um orçamento separado para esta taxa de serviço.

6. Sobre a garantia:
Nosso equipamento tem um período de garantia de 12 meses. Após o período de garantia, se alguma peça estiver danificada e precisar ser substituída, cobraremos apenas o preço de custo.

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