 
  
| Lâmina para usinagem  | Tamanho  | Polegadas  |  4,5,6,8 | 
| Cassetes de wafer  | Número  |  - |  2 | 
| Método de polimento  |  - | Método de afiação vertical por imersão  | |
| Eixo do disco de afiação  | Tipos  |  - | Mancais de ar  | 
| Quantidade  |  - |  2 | |
| Velocidade    | rpm  |  0~5000 | |
| Potência de Saída  | KW    |  5.5/7.5 | |
| Curso  | mm  |  150 | |
| Velocidade de alimentação    | um/s  |  0.01~100 | |
| Velocidade de avanço rápido  | mm/min    |  300 | |
| Resolução  | um  |  0.1 | |
| Eixo do peça de trabalho  | Tipo  |  - | Rolamentos de bola  | 
| Quantidade  |  - |  3 | |
| Tipo de ventosa  |  - | Cerâmica microporosa  | |
| Método de sucção do disco  |  - | Sucção por vácuo  | |
| Velocidade    | rpm  |  0~300 | |
| Transferência de disco  |  - | Braço Robótico  | |
|  - | Disco giratório  | ||
| Outras funções  | Centralização do disco  |  - | Alinhamento de pinos móveis  | 
| Limpeza de disco  |  - | Limpeza com água e ar, secagem por rotação  | |
| Limpeza da ventosa  |  - | Limpeza da pedra de amolar  | |
| REBOCO DE ESMERILHAR  | mm  | φ200  | |
| ONLINE  medição | Intervalo de Medição  | um  |  0~1800 | 
| Resolução  | um  |  0.1 | |
| Precisão de repetição  | um  |  ±0.5 | |
| Máquinas de mecanização  precisão | Precisão intra-wafer (TTV)  | um  |  ≤2 | 
| Precisão inter-wafer (WTW)  | um  |  ±3 | |
| Rugosidade da superfície (Ry)  | um  | 0.13(2000# acabamento)  | |
| Aparência    | Coloração da aparência  | um  | Padrão Laranja  | 
| Dimensões(W×D×H)  | mm  |  1200×2750×1950 | |
| Peso  | kg  |  4200 | 










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