Introdução:
Este equipamento é um instrumento de revestimento por magnetron de dois alvos. Está equipado com dois alvos de magnetron e dois conjuntos de fontes de alimentação CC. Pode ser utilizado para revestir filmes metálicos condutores multicamada. Ao mesmo tempo, o equipamento é composto por duas partes: a câmara principal e a câmara de transição. A câmara de transição está equipada com uma haste magnética empurradora, e uma válvula de comporta de vácuo está instalada entre as duas câmaras. O usuário pode carregar amostras na câmara de transição e realizar o pré-vácuo enquanto ocorre a pulverização catódica na câmara principal. Após a conclusão da pulverização catódica na câmara principal, a amostra pode ser empurrada até a platina de amostras da câmara principal mediante a haste magnética empurradora. Esse projeto reduz o número de ciclos de evacuação e ventilação da câmara principal, o que não só economiza eficazmente tempo, como também garante um vácuo local mais elevado e melhora efetivamente a qualidade do revestimento.
Aplicação:
Pode ser utilizada na preparação de filmes finos ferroelétricos monocamada ou multicamada, filmes condutores, filmes de ligas, filmes semicondutores, filmes cerâmicos, filmes dielétricos, filmes ópticos, etc.