Introdução:
Este equipamento é um instrumento de revestimento por magnetron de dois alvos. Esta configuração adota uma câmara de aço inoxidável de alto vácuo, um design com abertura frontal e uma janela de observação em quartzo na porta, para facilitar a observação e o registro experimentais. Ao mesmo tempo, o equipamento é dotado de uma platina rotativa aquecida para amostras, que pode melhorar eficazmente a uniformidade e a qualidade do filme. Um conjunto de obturadores é instalado na tampa superior, permitindo alternar entre os dois alvos mediante rotação dos obturadores, para obter revestimentos multicamada. Este equipamento deve ser utilizado em conjunto com um grupo de bombas moleculares de alto vácuo. Os usuários podem optar por bombas moleculares compactas de marcas importadas, economizando ainda mais espaço de instalação. Além disso, este modelo pode ser equipado, opcionalmente, com um componente medidor de espessura de filme, capaz de monitorar em tempo real os dados de espessura do filme e fornecer parâmetros confiáveis para o processo experimental.
Aplicação:
Pode ser utilizado na preparação de filmes finos metálicos, em áreas eletrônicas, ópticas, cerâmicas especiais, etc. Também pode ser empregado na preparação de amostras para microscopia eletrônica de varredura (MEV) em laboratório.