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  • Polidor Químico Mecânico Automático de Placa Única para Laminas de Disco
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Polidor Químico Mecânico Automático de Placa Única para Laminas de Disco

Aplicação:
Processo tradicional de polimento de planarização de CI; processo de TGV/TSV; polimento CMP para Smart Cut e pré-ligação; polimento de substratos de SiC / polimento de arseneto de gálio.
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Descrição do produto
ATOM Single Platen CMP

Características da máquina

O dispositivo é flexível e pode suportar múltiplas cabeças.
A capacidade de processamento do equipamento está próxima ao nível dos modelos principais de produtos do mesmo tamanho.
Boa consistência entre os processos dos dispositivos.

Campos de Aplicação

polimento de 4-8 polegadas de STI, ILD/IMD, TSV, TGV e polimento de superfície de compostos como SiC, LT, LN, GaAs, etc

Parâmetros Técnicos

cabeças de 4 polegadas, 6 polegadas, 8 polegadas, controle multi-zona
Tipo de Placa Φ20 polegada 508MM
Precisão de controle de pressão da cabeça <0.05PSI
Precisão de controle da velocidade de rotação da cabeça e placa <2RPM

unidade LoadPort

A porta pode ser virada para imergir o Cassete no Qtank, evitando a formação de cristais de Slurry na
superfície polida do disco. Equipado com função de Mapeamento de Cassete.

unidade de recuperação de material robótica

Equipado com um robô de 4 eixos, ele pode transferir automaticamente discos do Cassete para a unidade de polimento.

3. A sua família. Unidade de polir

Esta unidade está equipada com Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Braço de escória * 1, HCLU * 1 e ponto final EPD
detecção. Pode conseguir carregamento e descarregamento automático de wafer, controle de cabeça multi zona, Slurry
a alteração do ponto de aterragem com as definições da receita, detecção do ponto final e outras funções.
CMP Polisher Head (Cape de polir)
As cabeças de polir configuradas neste dispositivo são todas desenvolvidas, projetadas e produzidas independentemente pela nossa empresa.
Entre eles, o 4 polegadas 3 cavidade cabeça é um produto único criado pela nossa empresa, preenchendo a lacuna de nenhuma multi-cavidade 4 polegadas cabeça na China. A nossa empresa pode rapidamente modificar ou personalizar a cabeça de acordo com as características do produto do cliente. No desenvolvimento de produtos TGV de película fina (200um), a estrutura interna da cabeça foi modificada para satisfazer as exigências do polimento de película fina. Durante o processo de desenvolvimento da tecnologia de polimento de superfície OX LN, nossa empresa atualizou profundamente a cabeça de 6 polegadas e atendeu com sucesso aos requisitos do produto do cliente.
Aplicações
Processo de polimento de planarização de IC tradicional;
Processo TGV/TSV;
Smart Cut e CMP de pré-colagem;
Polimento de substrato SIC/polimento de arseneto de gálio.
ESPECIFICAÇÃO
Porto
Quantidade * 1, com tanque Q
Robô
Quantidade * 1, para transferência de wafer
HCLU
Quantidade * 1, para carregamento e descarregamento automático de wafers
Cabeça de polimento
Quantidade * 13 controle de cavidade, precisão de controle de 0,1 PSI, pode suportar operações de wafer de 400-1200 UM.
Velocidade da cabeça de polimento
5-150RPM
Disco de polimento
Quantidade * 1 Tamanho do Disco de Polimento 508mm, Velocidade do Disco de Polimento 10-150rpm.
Braço de aparagem
Quantidade * 1 disco de polimento. O disco de polimento pode ser usado online (simultaneamente) ou offline (após o polimento). A aparagem
o braço está equipado com um eixo de aparagem, que pode girar e mover-se para cima e para baixo, e a velocidade e a força para baixo podem ser controladas. O
ferramenta de aparagem é instalada no eixo de aparagem e pode ser rapidamente
removida. De acordo com os diferentes tipos de discos de polimento, diferentes tipos de ferramentas de vestimenta são configurados, incluindo escovas de vestimenta
escovas, anéis de diamante e discos de diamante.
Unidade de controle de pressão de ar da cabeça de polimento UPA
Quantidade * 13. Ajustável por zona para um melhor efeito de planarização da superfície.
Bomba de fornecimento de líquido de polimento
Quantidade * 2. Bombas peristálticas são usadas para o fornecimento de líquidos, com 2 bombas peristálticas configuradas para entregar diferentes líquidos de polimento
para o disco de polimento. Cada bomba pode ser usada em qualquer etapa do processo.
Braço de Lodo
Quantidade * 1 pode controlar o ponto de impacto do lodo e pode limpar o pad de polimento.
O sistema de controle operacional pode alcançar controle por níveis de usuário, como modo operador, modo manutenção e modo técnico, e variados modos são controlados por senhas. O software do sistema pode editar os parâmetros de processo de cada etapa e planear e
polir o filme fino na superfície do chip de acordo com o programa. Ele pode monitorar o status de operação do equipamento, monitorar parâmetros de processo em tempo real e o software pode armazenar automaticamente vários dados de processo. Equipado com um botão de parada de emergência.
polir o filme fino na superfície do chip de acordo com o programa. Ele pode monitorar o status de operação do equipamento, monitorar parâmetros de processo em tempo real e o software pode armazenar automaticamente vários dados de processo. Equipado com um botão de parada de emergência.
processo em tempo real e o software pode armazenar automaticamente vários dados de processo. Equipado com um botão de parada de emergência.
botão, usado para parar imediatamente o funcionamento do equipamento e cortar a energia de controle.
Embalagem e entrega
Perguntas Frequentes
1. Sobre o Preço:
Todos os nossos preços são competitivos e negociáveis. O preço varia dependendo da configuração e da complexidade da personalização do seu dispositivo.

2. Sobre a Amostra:
Podemos fornecer serviços de produção de amostras para você, mas pode ser necessário pagar algumas taxas.

3. Sobre Pagamento:
Após a confirmação do plano, você precisa nos pagar um depósito primeiro, e a fábrica começará a preparar os produtos. Após o
equipamento estar pronto e você pagar o saldo, nós o enviaremos.

4. Sobre Entrega:
Após a conclusão da fabricação do equipamento, enviaremos a você o vídeo de aceitação e você também pode vir ao local para inspecionar o equipamento.

5. Instalação e Ajuste:
Após a chegada do equipamento na sua fábrica, podemos enviar engenheiros para instalar e depurar o equipamento. Faremos um orçamento separado para esta taxa de serviço.

6. Sobre a garantia:
Nosso equipamento tem um período de garantia de 12 meses. Após o período de garantia, se alguma peça estiver danificada e precisar ser substituída, cobraremos apenas o preço de custo.

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