Sistema CMP de Precisão

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Sistema CMP de Precisão

Visão geral do equipamento:

O sistema de polimento químico-mecânico (CMP) de precisão é utilizado principalmente para lapidação e afinamento de chips semicondutores principais, como silício, dióxido de silício e chips de plano focal de antimônio de índio, bem como para polimento químico-mecânico de superfícies inferior, superior e lateral.

A máquina inteira e todas as peças do equipamento são totalmente anticorrosivas, e os parâmetros do processo podem ser configurados por meio da interface interativa de tela sensível ao toque.

Tamanho da amostra processável:

Tamanho da amostra ≤ 152 mm / 6 polegadas

Espessura usinável: 50 μm a 10 mm

Indicadores de processo alcançáveis:

1. O desvio total de espessura (TTV) de wafers com φ75 mm é inferior a 2 μm;

2. O desvio total de espessura (TTV) de wafers com φ100 mm é inferior a 3 μm;

3. O desvio total de espessura (TTV) de wafers com φ150 mm é inferior a 4 μm.

Tipos de amostras que podem ser processadas:

Silício, carbeto de silício, diamante, cerâmicas, nitreto de gálio, quartzo, antimoniato de gálio, fosfeto de índio, arsenieto de gálio, telureto de cádmio zinco, telureto de mercúrio cádmio, niobato de lítio e outros materiais semicondutores.

Características do equipamento:

1. Realizar a função de detecção do ponto final para controle da espessura da amostra.

2. Controle de temperatura em tempo real e função de refrigeração online das placas de lapidação e polimento.

3. Sistema de alimentação multicanal.

4. Função de limpeza automática das placas de lapidação e polimento.

5. Função de reparo automático das placas.

6. O suporte deve ser equipado com uma mesa digital de monitoramento de espessura com precisão de monitoramento de 0,1 μm.

Parâmetros técnicos:

Configuração do Dispositivo:

Perguntas Frequentes

1. Sobre o Preço:

Todos os nossos preços são competitivos e negociáveis. O preço varia dependendo da configuração e da complexidade da personalização do seu dispositivo.

2. Sobre a Amostra:

Podemos fornecer serviços de produção de amostras para você, mas pode ser necessário pagar algumas taxas.

3. Sobre Pagamento:

Após a confirmação do plano, você precisa nos pagar um depósito primeiro, e a fábrica começará a preparar os produtos. Após o equipamento estar pronto e você pagar o saldo, enviaremos.

4. Sobre Entrega:

Após a conclusão da fabricação do equipamento, enviaremos a você o vídeo de aceitação e você também pode vir ao local para inspecionar o equipamento.

5. Instalação e Ajuste:

Após a chegada do equipamento na sua fábrica, podemos enviar engenheiros para instalar e depurar o equipamento. Faremos um orçamento separado para esta taxa de serviço.

6. Sobre a garantia:

Nosso equipamento tem um período de garantia de 12 meses. Após o período de garantia, se alguma peça estiver danificada e precisar ser substituída, cobraremos apenas o preço de custo.

7. Serviço Pós-Venda:

Todas as máquinas possuem um período de garantia superior a um ano. Nossos engenheiros técnicos estão sempre online para oferecer a você serviços de instalação, configuração e manutenção dos equipamentos. Podemos oferecer serviços de instalação e configuração no local para equipamentos especiais e grandes.