Máquina de Litografia sem Máscara MDZY-DMD-MLL200 DMD , China Máquina de Litografia sem Máscara MDZY-DMD-MLL200 DMD Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrição do Produto

MDZY-DMD-MLL200
Máquina de Litografia sem Máscara DMD

A MDZY-DMD-MLL200 é uma máquina de litografia sem máscara baseada na tecnologia DMD (Dispositivo Digital de Micromirrors). Ao substituir as máscaras tradicionais por um DMD, permite o design rápido e flexível de padrões litográficos, suportando litografia em 2D e escala de cinza de 8 bits. Pode atender a quaisquer requisitos de litografia em escala micrométrica e é amplamente utilizada em diversas áreas, como MEMS e microfluídica.

Características

1. Design compacto e desktop
2. Fonte de luz de exposição LED de alta potência e alta uniformidade
3. Exposição guiada com luz verde
4. Foco automático de imagem usando uma câmera CCD
5. Mesa com motor linear de alta precisão
6. Interface de software de fácil utilização

Parâmetros

Comprimento de onda central da fonte de luz UV	405nm
Uniformidade de exposição	Mais de 90%
Largura mínima de linha de característica	0,5um
Área de exposição do campo de escrita em uma única passagem	0,16*0,16mm (@0,5um)
Velocidade de escrita	80 mm²/min (largura da linha de recurso de 1um)
Formatos de imagem suportados	DXF, GDS, bmp, png, etc.

Configuração

Configuração	Versão Básica	Versão profissional
Fonte de luz	LED de alta potência: 405nm
Chip DMD	DLP6500
Área de exposição de campo único	0,160,16 mm (@0,5um), 0,40,4 mm (@0,7um), 0,80,8 mm (@1um), 1,61,6 mm (@2um)
Câmera	Câmera de microscópio de grande área (suporta medição de tamanho)
Largura mínima de linha equidistante	0,8 µm	0.5μm
Precisão de emenda	±0,3 µm	±0,3μm
Precisão de sobreposição	±0,5 µm	±0,5μm
Velocidade de escrita	20 mm²/min (largura de linha de característica de 1 µm)	80 mm²/min (largura de linha de característica de 1 μm)
Estágio de movimento	Motor linear de alta precisão (precisão repetida de posicionamento ±0,25µm), mecanismo de nivelamento, estágio rotativo manual	Motor linear de alta precisão (precisão repetível de posicionamento ±0,25 µm), mecanismo de nivelamento, estágio rotativo elétrico
Trocador de objetivas	Comutação manual de objetivas	Comutação motorizada de objetivas
Módulo de focagem	Autofoco por imagem CCD	Focagem ativa a laser
Tamanhos de wafer suportados	4 polegadas	4 polegadas / 8 polegadas
Espessura da amostra	0-10 mm	0-10 mm

Casos de aplicação

Chip microfluídico

Litografia UV DMD para funcionalidade de sobreposição

Gravação de nanograde de telúrio seguida de sobreposição de eletrodo

Litografia em escala de cinza de lentes Fresnel, litografia 3D em escala de cinza para lentes Fresnel, mostrando mudanças contínuas de degrau na imagem da seção transversal obtida pelo microscópio eletrônico de varredura.

Eletrodos de materiais bidimensionais, eletrodos de materiais bidimensionais após evaporação e remoção, eletrodos evaporados são Ti/Au/Ti (12 nm no total)

Litografia combinada UV DMD e feixe de elétrons

Software

Os usuários podem realizar todas as operações de litografia a partir da interface principal, sem qualquer janela pop-up.

Módulo de recorte de imagem:

Inclui funções como recorte personalizado, preenchimento automático, inversão de cores e suavização de bordas.

Vinculação de Objeto:

Os usuários podem definir vinculações de objetos em qualquer local da superfície da amostra e visualizar simultaneamente a correspondência entre qualquer subimagem na imagem de campo completo e a superfície da amostra, permitindo uma sobreposição precisa.

Função de Desenho In-situ:

Gráficos podem ser desenhados diretamente na imagem microscópica e projetados sobre a amostra para realizar litografia fotográfica in-situ.

Equipamento Real Shoots

Embalagem e Entrega

Perfil da Empresa

Desde 2014, a Minder-Hightech é representante de vendas e serviços no setor de equipamentos para a indústria de semicondutores e produtos eletrônicos. Comprometemo-nos em oferecer aos clientes soluções Superiores, Confiáveis e de uma única fonte para equipamentos industriais. Até hoje, os produtos de nossa marca estão presentes em todos os principais países industrializados do mundo, ajudando os clientes a melhorar a eficiência, reduzir custos e aprimorar a qualidade dos produtos.

Perguntas Frequentes

1. Sobre o Preço:
Todos os nossos preços são competitivos e negociáveis. O preço varia dependendo da configuração e da complexidade da personalização do seu dispositivo.

2. Sobre a Amostra:
Podemos fornecer serviços de produção de amostras para você, mas pode ser necessário pagar algumas taxas.

3. Sobre o Pagamento:
Após a confirmação do plano, você precisa nos pagar um depósito primeiro, e a fábrica começará a preparar os produtos. Após o equipamento estar pronto e você pagar o saldo, enviaremos.

4. Sobre Entrega:
Após a conclusão da fabricação do equipamento, enviaremos a você o vídeo de aceitação e você também pode vir ao local para inspecionar o equipamento.

5. Instalação e Ajuste:
Após a chegada do equipamento na sua fábrica, podemos enviar engenheiros para instalar e depurar o equipamento. Faremos um orçamento separado para esta taxa de serviço.

6. Sobre a garantia:
Nosso equipamento tem um período de garantia de 12 meses. Após o período de garantia, se alguma peça estiver danificada e precisar ser substituída, cobraremos apenas o preço de custo.

7. Serviço Pós-Venda:
Todas as máquinas possuem um período de garantia superior a um ano. Nossos engenheiros técnicos estão sempre online para oferecer a você serviços de instalação, configuração e manutenção dos equipamentos. Podemos oferecer serviços de instalação e configuração no local para equipamentos especiais e grandes.

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