Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Solicite um Orçamento

Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Página Inicial
Sobre Nós
Equipamento MH
Solução
Usuários no Exterior
Vídeo
Entre em Contato
Início> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Máquina de etching ICP totalmente automática
  • MDICP-5000F Máquina de etching ICP totalmente automática
  • MDICP-5000F Máquina de etching ICP totalmente automática
  • MDICP-5000F Máquina de etching ICP totalmente automática

MDICP-5000F Máquina de etching ICP totalmente automática

Modelo: MDICP-5000F

Obtenha um Orçamento Gratuito
MDICP-5000F Máquina de etching ICP totalmente automática
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Resumo Executivo:

O equipamento é um sistema de vácuo de duas câmaras. Uma câmara é a câmara de amostragem por injeção e a outra é a câmara de etching. Um bloqueio de vácuo está instalado entre a câmara de amostragem por injeção e a câmara de etching, e a amostragem por injeção é transportada por manipulador.
O equipamento é composto principalmente por sistema de vácuo, sistema de circuito de gás, sistema elétrico, sistema de controle, sistema de resfriamento, mecanismo de alimentação e retirada de filme, sistema de alarme, etc.

Sistema de Vácuo:

O sistema consiste em uma bomba molecular com velocidade de bombeamento de 600 L/s + uma bomba seca de vácuo importada com velocidade de bombeamento de L/s para levar a câmara de etching a um alto vácuo. Uma válvula reguladora de pressão dinâmica elétrica está instalada entre a bomba molecular e a câmara de etching. A bomba seca importada é a bomba de pré-bombeamento da câmara de etching e a bomba de estágio anterior da bomba molecular. Use outra bomba mecânica com velocidade de bombeamento de L/s para criar vácuo na câmara de amostra. Botoeiras de aço inoxidável são usadas para conexão entre a bomba mecânica e a câmara de vácuo e a bomba molecular, e uma válvula pneumática eletromagnética está instalada.

Sistema de controle de pressão constante

O equipamento está equipado com um sistema de controle de pressão constante downstream e uma válvula ajustável elétrica é instalada no duto de extração de ar. Através da medição do manômetro de filme (peças importadas), a válvula ajustável é controlada para que a câmara de vácuo atinja uma pressão constante, melhorando assim a estabilidade do processo.

Sistema de controle de pressão constante

O equipamento está equipado com um sistema de controle de pressão constante downstream e uma válvula ajustável elétrica é instalada no duto de extração de ar. Através da medição do manômetro de filme (peças importadas), a válvula ajustável é controlada para que a câmara de vácuo atinja uma pressão constante, melhorando assim a estabilidade do processo.

Sistema de Circuito de Gás

Duas unidades de fonte de alimentação RF com correspondência automática.

Sistema de alarme

Requisitos de segurança para o equipamento.
ESPECIFICAÇÃO
Nome
Resumo das características do medicamento
Marca
Nº./Conjunto
Nota
Câmara de etching, duto de extração de ar, janela de observação, interface reservada, etc.
Padrão
JSWN
1
Anticorrosivo
Quadro, armário elétrico, selos, peças padrão, etc.
Padrão
JSWN
1
Sistema de elevação da tampa da câmara de etching
Padrão
JSWN
1
Anticorrosivo
Eletrodo de gravação e sistema de resfriamento
Padrão
JSWN
1
Anticorrosivo
Bomba molecular (velocidade de bombeamento 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Anticorrosivo
Bomba seca de entrada (velocidade de bombeamento 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Anticorrosivo
Bomba mecânica (velocidade de bombeamento 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Válvula de controle elétrica
DCQ-150
JSWN
1
Anticorrosivo
Válvula de membrana pneumática
KF40
JSWN
3
Anticorrosivo
Medidor de filme
KF16
INFICON
1
Anticorrosivo
Controlador de fluxo de massa
D07
Sevenstar
4
Anticorrosivo
Válvula pneumática de diafragma
1/4'' VCR
-
4
Anticorrosivo
Tubo de aço inoxidável, junta de tubo, etc
1/4'' VCR
-
4
Anticorrosivo
Fonte de alimentação de RF / ajustador automático
-
China(OptionalCROWN1310)
1
Fonte de alimentação de RF / ajustador automático
-
China(OptionalCROWN1310)
1
Medidor de vácuo composto
ZDF
RB
1
IPC
2U
China
1
Tela sensível ao toque LCD
- 17 polegadas.
China
1
Sistema de controlo PLC
S7-200
Siemens
1
Sistema de controle de motor elétrico
Padrão
JSWN
1
Detecção e sistema de tubulação de água de resfriamento
Padrão
JSWN
1
Detecção e sistema de tubulação de ar comprimido
Padrão
JSWN
1
Máquina de água circulante de resfriamento
Hx
China
1
Câmara de injeção de gravação
Padrão
JSWN
1
Bloqueio de vácuo
SMC
SMC
1
Sistema de controle de manipulador
SMC
SMC
1

Parâmetro técnico de correspondência

1. Vácuo limite: Câmara de gravação 9,0×10-5Pa (Umidade interna≤55%)
Câmara de amostragem de injeção 6,0×10-1Pa
2. Material de gravação: Material Ⅲ, Ⅴ, Si, SiO2, etc
3. Taxa de gravação: ~ 1μ/min
4. Uniformidade de gravação: ≤±5％(faixa φ125mm)
6. Tamanho do eletrodo: φ200mm

Perguntas Frequentes

1. Sobre o Preço:

Todos os nossos preços são competitivos e negociáveis. O preço varia dependendo da configuração e da complexidade da personalização do seu dispositivo.

 

2. Sobre a Amostra:

Podemos fornecer serviços de produção de amostras para você, mas pode ser necessário pagar algumas taxas.

 

3. Sobre Pagamento:

Após a confirmação do plano, você precisa nos pagar um depósito primeiro, e a fábrica começará a preparar os produtos. Após o equipamento estar pronto e você pagar o saldo, enviaremos.

 

4. Sobre Entrega:

Após a conclusão da fabricação do equipamento, enviaremos a você o vídeo de aceitação e você também pode vir ao local para inspecionar o equipamento.

 

5. Instalação e Ajuste:

Após a chegada do equipamento na sua fábrica, podemos enviar engenheiros para instalar e depurar o equipamento. Faremos um orçamento separado para esta taxa de serviço.

 

6. Sobre a garantia:

Nosso equipamento tem um período de garantia de 12 meses. Após o período de garantia, se alguma peça estiver danificada e precisar ser substituída, cobraremos apenas o preço de custo.

 

7. Serviço Pós-Venda:

Todas as máquinas possuem um período de garantia superior a um ano. Nossos engenheiros técnicos estão sempre online para oferecer a você serviços de instalação, configuração e manutenção dos equipamentos. Podemos oferecer serviços de instalação e configuração no local para equipamentos especiais e grandes.

Mais Produtos

Consulta

Direitos Autorais © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Todos os Direitos Reservados

Política de Privacidade

Consulta Email Whatsapp WeChat
TOP
×

Entre em contato