Modelo: MDST-6100
O asher de plasma seco ICP é adequado para aplicações como descumming (pré-tratamento e remoção de resíduos), remoção de polímeros (PI, BCB, PBO) e remoção de fotoresistência pós-implantação iônica; a câmara acomoda amostras de 8 polegadas (com compatibilidade para tamanhos de 4 e 6 polegadas).
Removedor Seco de Fotolito por Plasma ICP
O asher de plasma seco ICP é adequado para aplicações como descumming (pré-tratamento e remoção de resíduos), remoção de polímeros (PI, BCB, PBO) e remoção de fotoresistência pós-implantação iônica; a câmara acomoda amostras de 8 polegadas (com compatibilidade para tamanhos de 4 e 6 polegadas).
A aparência do equipamento está sujeita a atualizações e ajustes contínuos; o produto efetivamente enviado prevalece.
Vantagens:
Alto grau de ionização e decomposição do plasma
Após o tratamento com plasma, a reprodutibilidade é elevada
Gravação a seco, sem fonte de poluição
Controle de pressão e temperatura por meio de válvulas borboleta
Capaz de manter o plasma em alta pressão
Separação entre a Fonte de Alta Tensão e o Gerador de Íons
Junção de micro-ondas e circuito magnético são compatíveis
Capaz de atender aos requisitos do cliente
Baixa temperatura durante o processamento
Velocidade de resposta rápida e tempo de resposta curto
Modelo |
MDST6100 |
Fonte de plasma |
frequência de Rádio |
potência |
1000 W |
Escopo de Aplicação |
8 polegadas (compatível com 4 ou 6 polegadas) |
Tamanho da caixa |
25 peças |
Dimensões gerais |
L1696xL2170xA2146 mm |
Controlo do sistema |
PLC |
Sistema de caixa de material |
Automático |
Fotos reais do equipamento:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
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