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Sonda para Wafer a Vácuo de Alta e Baixa Temperatura

Introdução do Produto

A estação de prova da série MDSM-VP-CG pode fornecer testes de característica IV/CV, testes RF, testes fotoelétricos, características de transporte eletromagnético e testes de efeito Hall para caracterização de dispositivos e materiais em ambientes de vácuo ultra-alto e temperaturas elevadas e baixas.

Ao configurar componentes como câmara de vácuo e tela de proteção contra radiação, com integração de altas temperaturas, baixas temperaturas e vácuo, outras condições de teste podem efetivamente atender e fornecer um ambiente estável de testes para dispositivos semicondutores.

Recursos do Produto

1. Pode suportar temperatura de 4,2 K a 473 K

2. Design de tela anti-radiação para melhorar a uniformidade e precisão da temperatura da amostra

3. Design do dissipador de calor da sonda para garantir a queda precisa da sonda

4. Campo magnético carregável atualizável

5. Configuração flexível e escalonável de aplicação de teste

6. Controle automático do fluxo de refrigerante, controle preciso automático de temperatura

Parâmetros do Produto

Modelo

MDSM-VP-CG-O-2

MDSM-VP-CG-O-4

MDSM-VP-CG-C-2

Chuck, não.

Tamanho

2polegadas

4polegadas

2polegadas

Método de fixação da amostra

Graxa térmica a vácuo/pressão por mola

Grau de Vácuo

vácuo máximo de 10^-10 torr

Óptica

propriedades

Deslocamento do microscópio

Eixo R 360 ° + eixo móvel 100 mm

Ganho

Zoom: 7:1, resolução 4 μm (ampliação 216X) ou microscópio metalográfico (20X~1000X)

Dimensões de

janela de observação

2polegadas

4polegadas

2polegadas

Temperatura

controlar

especificações

Pixel CCD

50W (simulação)/200W (digital)/500W (digital)

Método de resfriamento

Nitrogênio líquido/hélio líquido

Compressores de Refrigeração

Método de Controle

Controle manual/automático de fluxo de refrigerante em ciclo aberto

Controle automático em circuito fechado

Autonomia

77K~473K/4,2K~473K

7,3K~473K

Resolução

0,001K

Estabilidade

4,2K ±0,2K 77K±0,1K 373K±0,08K 473K±0,1K

Especificações da sonda

Número da sonda

O número de várias sondas pode ser expandido até 6

Regulamentação da sonda

Ajuste externo de fole a vácuo, controle manual

Precisão do ponto

2μm

Vazamento de corrente

1pA/V @25 ℃,100fA/V @25℃

Tipo de Conector

Interface Triaxial/SMA/K/Fibra

Consulta

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