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| Tipo de Produto  | 6", 8", 12" quadro wafer  | 
| itens de Inspeção 2D  | Objetos estranhos, resíduo de cola, partículas, riscos, trincas, contaminação, desvio CP, área excessiva, etc  Desvio do canal de corte e fragmentação | 
| Itens de Inspeção de Trajeto de Corte  | 6", 8", 12" frame cassette  | 
| Lente e Resolução  | 2x(2.75um)/3.5x(1.57um)/  5x(1.1um)/7.5x(0.73um)/10x(0.55um) | 
| Precisão  | 0.55μm/pixel  | 
| Opcional e Personalizado  | Módulo INK, Módulo IR  | 







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