É composta por fonte de alimentação de íons, sistema de vácuo, sistema de enchimento com gás, sistema de controle automático e outras partes. O princípio básico de funcionamento é que, em estado de vácuo, o plasma pode ionizar o gás de forma controlada e qualitativa. A bomba de vácuo é utilizada para evacuar a câmara até um vácuo de 10–40 Pa, após o que o gás é ionizado sob a ação de um gerador de alta frequência, formando-se o plasma (o quarto estado da matéria). Uma característica notável é a elevada uniformidade da descarga luminosa em forma de faca; conforme o tipo de gás utilizado, emite luz visível colorida, variando do azul ao roxo-escuro, e a temperatura de processamento do material fica próxima à temperatura ambiente. Essas partículas altamente reativas interagem com a superfície tratada, permitindo diversas modificações superficiais, tais como aumento da hidrofilicidade, hidrofobicidade, redução do atrito, limpeza intensa, ativação e gravação (etching).
Vantagens do Tratamento por Plasma: 1. Tecnologia de proteção ambiental: o processo de ação do plasma é uma reação coerente entre fases gasosa e sólida, que não consome recursos hídricos, não exige a adição de produtos químicos e não polui o meio ambiente. 2. Versatilidade: independentemente do tipo de substrato a ser processado, este pode ser tratado — por exemplo, metais, semicondutores, óxidos e a maioria dos materiais poliméricos são processados eficazmente; 3. Baixa temperatura: próximo à temperatura ambiente, especialmente adequado para materiais poliméricos, com tempo de armazenamento mais longo e maior tensão superficial em comparação com os métodos de descarga corona e chama. 4. Alta funcionalidade: envolve apenas a camada superficial rasa do material polimérico (10–1000 Å), conferindo uma ou mais novas funções sem alterar as características intrínsecas do material; 5. Custo reduzido: o equipamento é simples, de fácil operação e manutenção, podendo funcionar continuamente. Frequentemente, poucas garrafas de gás substituem milhares de quilogramas de fluido de limpeza, tornando o custo de limpeza significativamente menor do que o da limpeza úmida. 6. Processo totalmente controlável em todas as etapas
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