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  • Gravação de materiais Deposição Reação Máquina de gravação iônica RIE
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Gravação de materiais Deposição Reação Máquina de gravação iônica RIE

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Descrição do Produto

RIE Máquina de Corrosão Iônica Reativa

As aplicações de pesquisa das máquinas RIE de corrosão iônica reativa nos campos de fabricação de semicondutores e processamento micro e nano são refletidas principalmente no processamento de estruturas em escala nanométrica, corrosão de novos materiais, fabricação de dispositivos complexos e avanços em tecnologias interdisciplinares. Seu valor central está em alcançar uma remoção de material de alta precisão e alta seletividade por meio do controle coordenado de bombardeio físico e reações químicas. Apoia a exploração da tecnologia de ponta em semicondutores e a inovação de dispositivos.

Características do equipamento:

1. Alta precisão e anisotropia: É capaz de gravar padrões com paredes laterais íngremes e dimensões precisas.
2. Boa uniformidade e repetibilidade: adequada para produção em larga escala.
3. Ampla aplicabilidade de materiais: Ao escolher diferentes combinações de gás, é possível gravar diversos materiais (semicondutores, dielétricos, metais, etc.).
4. Alta razão de seletividade: Permite gravar precisamente materiais específicos sem causar danos significativos a outros materiais.
5. Limpeza: Processo seco, evitando problemas como limpeza e tratamento de resíduos líquidos causados pela gravação úmida.
Especificações
Configuração do sistema:
Aquecimento elétrico
Câmara (Cavidade única)
N/A
Tipo de eletrodo inferior
242mm
Faixa de Temperatura do Processo
-20-100°C
Fonte de plasma
600W-1000W
Tamanho do manômetro de processo
100mtorr
Sistema de vácuo
Unidades de bomba molecular, sistemas de bomba seca, câmara de processo
O número de câmaras de gravação
Cavidade única
Parafusos de aperto
Tipo
Tamanho/mm
Material
N/A
8、6、4、3、2
Detector de ponto final
Opção
Plasma acoplado indutivamente
Opção
Parâmetro Técnico:
Material de gravação
Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Taxa de gravação
>20nm/min (material Si02) As taxas de materiais diferentes não são as mesmas
Controle distribuído
>85°
Método de carga
Carregamento aberto
Tubulação de gás controlada por MFC
Seis tanques de gás estão disponíveis
Opção de refrigeração com hélio na parte traseira
Sim
Interface homem-máquina
Operação por tela sensível ao toque
Modo de Operação
Modo totalmente automático, modo não totalmente automático
Seleção e configuração de dispositivos automatizados
Você pode escolher entre peças importadas ou nacionais
Casos de aplicação
Embalagem e Entrega
Perfil da Empresa
Desde 2014, a Minder-Hightech é representante de vendas e serviços no setor de equipamentos para a indústria de semicondutores e produtos eletrônicos. Comprometemo-nos em oferecer aos clientes soluções Superiores, Confiáveis e de uma única fonte para equipamentos industriais. Até hoje, os produtos de nossa marca estão presentes em todos os principais países industrializados do mundo, ajudando os clientes a melhorar a eficiência, reduzir custos e aprimorar a qualidade dos produtos.
Perguntas Frequentes
1. Sobre o Preço:
Todos os nossos preços são competitivos e negociáveis. O preço varia dependendo da configuração e da complexidade da personalização do seu dispositivo.

2. Sobre a Amostra:
Podemos fornecer serviços de produção de amostras para você, mas pode ser necessário pagar algumas taxas.

3. Sobre o Pagamento:
Após a confirmação do plano, você precisa nos pagar um depósito primeiro, e a fábrica começará a preparar os produtos. Após o equipamento estar pronto e você pagar o saldo, enviaremos.

4. Sobre Entrega:
Após a conclusão da fabricação do equipamento, enviaremos a você o vídeo de aceitação e você também pode vir ao local para inspecionar o equipamento.

5. Instalação e Ajuste:
Após a chegada do equipamento na sua fábrica, podemos enviar engenheiros para instalar e depurar o equipamento. Faremos um orçamento separado para esta taxa de serviço.

6. Sobre a garantia:
Nosso equipamento tem um período de garantia de 12 meses. Após o período de garantia, se alguma peça estiver danificada e precisar ser substituída, cobraremos apenas o preço de custo.

7. Serviço Pós-Venda:
Todas as máquinas possuem um período de garantia superior a um ano. Nossos engenheiros técnicos estão sempre online para oferecer a você serviços de instalação, configuração e manutenção dos equipamentos. Podemos oferecer serviços de instalação e configuração no local para equipamentos especiais e grandes.

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